Башта, П.
    Лазерная резка методом Laser MicroJet [Текст] / П. Башта // Электроника: наука, технология, бизнес. - 2010. - N 3. - С. 32-35.
УДК
ББК 32
Рубрики: Радиоэлектроника
   Радиоэлектроника в целом

Кл.слова (ненормированные):
резка -- лазерная резка -- Laser MicroJet -- метод лазерной резки -- лазерные лучи -- фокусирующие линзы
Аннотация: Избежать недостатков процесса резки полупроводниковых пластин, связанных с механическим и лазерным методами, позволяет технология Laser MicroJet. Суть ее заключается в следующем: лазерный луч через фокусирующую линзу попадает в камеру, в которую подается вода под давлением (~300 бар, 1 л/мин). Далее лазерный луч выходит из камеры через насадку с отверстием малого диаметра (до 20 мкм) и, находясь в струе воды, попадает на обрабатываемую поверхность пластины/подложки, т. е. струя воды под давлением является направляющей для лазерного луча.


Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : эн.ф. (1)
Свободны: эн.ф. (1)




    Шевченко, В. В.
    Локализация стационарного электромагнитного поля при помощи плоской границы метаматериала [Текст] / В. В. Шевченко // Успехи физических наук. - 2011. - Т. 181, N 11. - С. 1171-1182. : 8 рис. - Библиогр.: с. 1181-1182 (76 назв. )
ГРНТИ
УДК
ББК 22.373
Рубрики: Физика
   Электрические и магнитные свойства твердых тел

Кл.слова (ненормированные):
электромагнитные поля -- метаматериалы -- диэлектрическая проницаемость -- магнитная проницаемость -- фокусирующие линзы -- лучевая теория
Аннотация: Изложены методы и результаты исследований фокусирующих свойств плоских границ некоторых типов метаматериалов, моделируемых электромагнитной отрицательной средой, т. е. средой с отрицательными значениями диэлектрической и магнитной проницаемости.


Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)