Мухина, Е.
    3-D сборка [Текст] : технология сквозных отверстий в кремнии / Е. Мухина, П. Башта // Электроника: наука, технология, бизнес. - 2009. - N 2. - С. 92-93.
УДК
ББК 32.85
Рубрики: Радиоэлектроника
   Электроника в целом

Кл.слова (ненормированные):
кремний -- сквозные отверстия -- 3-D сборка -- микросхемы -- лазерная обработка -- монтаж кристаллов
Аннотация: Описана трехмерная интеграция, которая позволяет повысить производительность и снизить стоимость микросхем.


Доп.точки доступа:
Башта, П.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : эн.ф. (заказ статей по ЭДД) (1)
Свободны: эн.ф. (заказ статей по ЭДД) (1)