Ляликов, А. М. Высокочувствительный сравнительный анализ периодических структур методом интерферометрии бокового сдвига [Текст] / А. М. Ляликов // Оптика и спектроскопия. - 2008. - Т. 105, N 1. - С. 136-139.
Рубрики: Физика Оптика в целом Кл.слова (ненормированные): интерферометрия бокового сдвига -- периодические структуры -- пространственные периодические структуры -- дифракционные элементы Аннотация: Показана перспективность применения интерферометрии большого бокового сдвига для сравнительного анализа пары периодических структур пропускающего типа, одна из которых является исследуемой, а другая - эталонной. Для повышения чувствительности отображения разности в поведении штрихов исследуемой и эталонной структур предложено использовать интерференцию высших порядков дифракции на исследуемой и эталонной структурах. Приведены результаты экспериментального опробования методики для контроля качества изготовления двухмерных амплитудных масок. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |