Абдуллин, И. Ш. Влияние обрабатываемого материала на свойства высокочастотного емкостного разряда пониженного давления [Текст] / И. Ш. Абдуллин [и др. ] // Материаловедение. - 2007. - N 11. - С. . 51-55
Рубрики: Физика--Электричество и магнетизм Техника--Обработка материалов Кл.слова (ненормированные): плазмообразующие газы -- плазма -- продув газа -- плазма высокочастотных разрядов -- разряды пониженного давления -- плазменные установки -- высокочастотные разряды пониженного давления -- термовакуумное напыление -- промышленные установки термовакуумного напыления -- высокочастотная плазма -- высокочастотная плазма пониженного давления Аннотация: Исследованы влияния изделия, а также состава плазмообразующего газа на характеристики высокочастотного емкостного разряда пониженного давления с продувом газа. Доп.точки доступа: Желтухин, В. С.; Сагбиев, И. Р.; Кудинов, В. В.; Шаехов, М. Ф. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : з.п. (1) Свободны: з.п. (1) |