Салащенко, Н. Н. Проект изготовления российского ЭУФ-нанолитографа для производства СБИС по технологическим нормам 22 нм [Текст] / Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 1. - С. 49-53. : рис. - Библиогр.: с. 53 (12 назв. )
Рубрики: Физика Экспериментальные методы и аппаратура оптики Транспорт Транспортные сооружения Кл.слова (ненормированные): массовое производство -- нанолитографы -- наноэлектроника -- оптические элементы -- опытное производство -- отражательные маски -- проекты -- проекционная ЭУФ-литография -- промышленные сканеры -- фоторезисторы -- экстремальное ультрафиолетовое излучение Аннотация: Сообщается о разрабатываемом проекте создания отечественного нанолитографа с рабочей длиной волны лямбда=13. 5 нм для производства элементной базы наноэлектроники (чипов) по технологическим нормам 32-22 нм на первом этапе и 22-16 нм - на втором. Доп.точки доступа: Чхало, Н. И. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Кучаев, А. И. (ведущий аналитик). Повышение эффективности механизма государственного заказа на НИОКР [Текст] / А. И. Кучаев // Экономика и математические методы. - 2015. - Т. 51, № 2. - С. 70-88 : ил. - Библиогр.: с. 87-88 . - ISSN 0424-7388
Рубрики: Экономика Математическая экономика. Эконометрика Кл.слова (ненормированные): НИОКР -- аукцион -- государственный заказ -- дизайн экономических механизмов -- опытно-конструкторские работы -- опытное производство -- процесс инноваций -- федеральные целевые программы -- частно-государственное партнерство Аннотация: В статье исследуется модификация аукциона на проведение опытно-конструкторских (технологических) работ с целью повышения его эффективности и создания стимулов для вовлечения бизнеса в процесс инноваций. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : эк. (1) Свободны: эк. (1) |