Башта, П. Наноимпринтлитография. Автоматы компании SET [Текст] / П. Башта, Е. Мухина // Электроника: наука, технология, бизнес. - 2008. - N 8. - С. 100-101.
Рубрики: Радиоэлектроника Электроника в целом Кл.слова (ненормированные): наноимпринтлитография -- микроэлектроника -- горячее тиснение -- холодное тиснение -- компании Аннотация: Рассмотрена современная перспективная технология, используемая в микроэлектронике для создания образов (рисунков) путем их переноса с шаблона (штампа) на подложку. Доп.точки доступа: Мухина, Е.; SET, компания Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : эн.ф. (1) Свободны: эн.ф. (1) |