Лазерно-плазменный источник ЭУФ-излучения для проекционной нанолитографии [Текст] / С. Ю. Зуев [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2013. - Т. 77, № 1. - С. 9-13 : рис. - Библиогр.: с. 13 (9 назв. ) . - ISSN 0367-6765
Рубрики: Физика Физическая оптика Кл.слова (ненормированные): виньетирование -- коэффициент конверсии энергии -- лазерная плазма -- лазерно-плазменный источник ЭУФ-излучения -- молибденовые мишени -- проекционная нанолитография -- экстремальное ультрафиолетовое излучение Аннотация: Сообщается о лабораторном источнике экстремального ультрафиолетового излучения на основе лазерной плазмы, оптимизированном для применения в исследовательском стенде нанолитографии на длине волны 13. 5 нм. Приводятся основные технические характеристики источника. При работе с молибденовой мишенью измеренный коэффициент конверсии энергии лазерного излучения в излучение с центральной длиной волны 13. 5 нм в полупространство и в 2%-ной спектральной полосе составил 0. 03%. Доп.точки доступа: Зуев, С. Ю.; Пестов, А. Е.; Салащенко, Н. Н.; Суслов, Л. А.; Торопов, М. Н.; Чхало, Н. И.; Щербаков, А. В. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |