Плюснин, Н. И. Атомно-масштабное управление молекулярно-лучевым ростом тонкоплёночных наногетероструктур [Текст] / Н. И. Плюснин // Вестник Дальневосточного отделения РАН. - 2010. - N 5. - С. 26-34. - Библиогр. в конце ст. . - ISSN 0869-7698
Рубрики: Физика--Физика полупроводников и диэлектриков Кл.слова (ненормированные): металл-полупроводниковые наногетероструктуры -- система металл 3d переходной группы - кремний -- тонкоплёночные приборы -- кремниевая микроэлектроника -- кремниевая нанотехнология -- ультратонкие плёнки -- тонкопленочные наногетероструктуры -- молекулярные пучки -- электронная спектроскопия -- молекулярно-лучевой рост -- рост поверхностной фазы -- плёночные нанофазы -- многослойные наноструктуры Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |