Ковалишина, Е. А. Химико-механическая полировка подложек автоэпитаксиальных структур арсенида индия [Текст] / Е. А. Ковалишина, Е. А. Нечаев, А. С. Петров // Физика и химия обработки материалов. - 2013. - № 1. - С. 47-51 . - ISSN 0015-3214
Рубрики: Радиоэлектроника Фотоэлектрические приборы Кл.слова (ненормированные): химико-механическая полировка -- микрорельефы поверхностей -- арсенид индия -- автоэпитаксиальные структуры -- абразивные частицы Аннотация: Разработана технология химико-механической полировки (ХМП) подложек для получения автоэпитаксиальных структур InAs. Установлено, что применение абразивной ХМП приводит к появлению дефектов в эпитаксиальном слое вследствие образования и адсорбции на полируемой поверхности конгломератов частиц абразива. Исследована кинетика реакций при ХМП без применения абразивных частиц, установлены реакции, лимитирующие скорость полировки с использованием различных суспензий. Предложены составы для безабразивной ХМП подложек. Доп.точки доступа: Нечаев, Е. А.; Петров, А. С. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Исследование интенсификации теплообмена при кипении воды на поверхности с микро- и нанорельефом [Текст] / Ю. А. Кузма-Кичта [и др.] // Теплоэнергетика. - 2014. - № 3. - С. 35-39 . - ISSN 0040-3636
Рубрики: Физика Термодинамика твердых тел Кл.слова (ненормированные): компактные теплообменники -- коэффициенты теплоотдачи -- краевые углы -- критические тепловые нагрузки -- микрорельефы поверхностей -- нанорельефы поверхностей -- резонаторы ускорителей заряженных частиц -- рельефы из наночастиц -- теплообмен при кипении воды Аннотация: Представлены результаты исследования интенсификации теплообмена при кипении воды на поверхности с микро- и нанорельефом, в том числе с рельефом из наночастиц карбида кремния и оксида алюминия при атмосферном давлении в большом объеме. В качестве рабочих участков выбраны горизонтально расположенные стальная трубка диаметром 1. 2 мм и медная пластина размером 15 на 3 мм. Проведена видеосъемка процесса и измерены теплоотдача, критические тепловые нагрузки и краевые углы. Использование микро- и нанорельефа поверхности позволяет значительно повысить критическую тепловую нагрузку и коэффициент теплоотдачи при кипении благодаря изменению смачиваемости поверхности. Результаты исследований могут найти применение в компактных теплообменниках, холодильных установках, тепловых трубах, зеркалах мощных лазеров, мишенях и резонаторах ускорителей заряженных частиц, при внешнем охлаждении корпуса реактора в аварийных условиях. Доп.точки доступа: Кузма-Кичта, Ю. А.; Лавриков, А. В.; Шустов, М. В.; Чурсин, П. С.; Чистякова, А. В.; Звонарев, Ю. А.; Жуков, В. М.; Васильева, Л. Т. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : эн.ф. (1) Свободны: эн.ф. (1) |