Степанова, О. М. Эрозия поверхности твердого тела при облучении мощными субмикросекундными ионными пучками [Текст] / О. М. Степанова, В. П. Кривобоков> // Известия РАН. Серия физическая. - 2010. - Т. 74. N 2. - С. 139-142. - Библиогр.: c. 142 (7 назв. ) . - ISSN 0367-6765
Рубрики: Физика Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях Кл.слова (ненормированные): ионные пучки -- испарение поверхности -- поверхности -- твердое тело -- тепловая эрозия -- травление поверхности -- численное моделирование -- эрозия Аннотация: Рассмотрена эрозия твердого тела под действием мощных импульсных ионных пучков. Путем численного моделирования получены значения выхода атомов с облучаемой поверхности в результате испарения. Выполнено исследование влияния параметров пучка и мишени на интенсивность эмиссии. Сделана оценка технологических возможностей мощных субмикросекундных ионных пучков в задачах травления поверхности твердых тел. Доп.точки доступа: Кривобоков, В. П. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |