Ли Цзень Фень Эрозия мишени из GaAs при воздействии импульсного мощного ионного пучка [Текст] / Ли Цзень Фень [и др. ] // Известия вузов. Физика. - 2007. - Т. 50, N 1. - С. 66-70. - Библиогр.: с. 69-70 (9 назв. )
Рубрики: Радиоэлектроника--Общая радиотехника Кл.слова (ненормированные): ионный пучок -- плотность тока на мишени -- плотность энергии на мишени -- энергия ионов -- эрозия мишени Аннотация: В статье приведены результаты исследования эрозии мишени из GaAs при воздействии импульсного мощного ионного пучка. В экспериментах использовался источник мощных ионных пучков со следующими параметрами: энергия ионов - 250 кэВ, плотность тока на мишени - до 350 А/см{2}, длительность импульса - 80 нс, плотность энергии на мишени - до 7 Дж/см{2}. Измерен коэффициент эрозии мишени и его зависимость от числа последовательных импульсов. Отмечено увеличение параметра шероховатости поверхности с увеличением числа последовательных импульсов тока пучка и формирование регулярной структуры рельефа поверхности при числе импульсов более 20-40. Доп.точки доступа: Ремнев, Г. Е.; Салтымаков, М. С.; Гусельников, В. И.; Макеев, В. А.; Ивонин, И. В.; Найден, Е. П.; Юрченко, В. И. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |