Исследование осажденных слоев Ge и C на подложке кремния с помощью ВИМС-профилирования [Текст] / В. С. Харламов [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2010. - Т. 74. N 2. - С. 262-265. - Библиогр.: c. 265 (13 назв. ) . - ISSN 0367-6765
Рубрики: Физика Общие вопросы физики Кл.слова (ненормированные): баллистические процессы -- ВИМС-профилирование -- диффузионные процессы -- ионное травление -- карбид кремния -- компьютерное моделирование -- кремниевые технологии -- молекулярно-пучковая эпитаксия -- осаждение атомов германия -- осаждение атомов углерода -- поверхности -- распределение атомных компонент по глубине Аннотация: Проведено экспериментальное и теоретическое исследование структур, полученных методом молекулярно-пучковой эпитаксии при осаждении атомов углерода и/или германия на поверхность (111) кремния. Экспериментальные профили распределения компонент по глубине получены при помощи ВИМС-профилирования, а расчетные - с применением комплексного метода компьютерного моделирования, учитывающего диффузионные и баллистические процессы. Доп.точки доступа: Харламов, В. С.; Куликов, Д. В.; Трушин, Ю. В.; Надер, Р.; Мазри, П.; Штауден, Т.; Пецольдт, Й. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Технологический комплекс для изготовления прецизионной изображающей оптики [Текст] / С. Ю. Зуев [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 1. - С. 57-60. : рис. - Библиогр.: с. 60 (7 назв. )
Рубрики: Физика Экспериментальные методы и аппаратура оптики Радиоэлектроника Электроника в целом Кл.слова (ненормированные): интерферометры -- ионное травление -- магнетронное напыление -- методы коррекции формы -- многослойные структуры -- оптические элементы -- перецизионная изображающая техника -- технологические линии Аннотация: Описан комплексный подход к решению проблемы создания сверхгладких оптических поверхностей с субнанометровой точностью формы. Доп.точки доступа: Зуев, С. Ю.; Клюенков, Е. Б.; Пестов, А. Е.; Полковников, В. Н.; Салащенко, Н. Н.; Суслов, Л. А.; Торопов, М. Н.; Чхало, Н. И. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Подгорный, Д. А. Определение толщин сверхтонких пленок методом электронной оже-спектроскопии [Текст] / Д. А. Подгорный, Т. Н. Сметюхова, А. В. Иржак // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. - 2012. - Т. 78, № 8. - С. 33-36. - Библиогр.: с. 36 (9 назв. ) . - ISSN 1028-6861
Рубрики: Физика Спектроскопия Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): сверхтонкие пленки -- определение толщин пленок -- метод электронной оже-спектроскопии -- электронная оже-спектроскопия -- ионное травление Аннотация: Описана методика определения толщин сверхтонких пленок методом электронной оже-спектроскопии без разрушения материала. Доп.точки доступа: Сметюхова, Т. Н.; Иржак, А. В. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |