Витковский, В. О.
    Расщепление атомных пучков светом для создания пространственных структур высокого разрешения в оптической нанолитографии [Текст] / В. О. Витковский, С. В. Пранц // Оптика и спектроскопия. - 2013. - Т. 114, № 1. - С. 57-64 : граф., схема. - Библиогр.: с. 64 (20 назв.) . - ISSN 0030-4034
УДК
ББК 22.36
Рубрики: Физика
   Молекулярная физика в целом

Кл.слова (ненормированные):
атомные пучки -- дифракция волновых пакетов -- лазерные волны -- нанолитография -- оптическая нанолитография -- пространственные структуры -- расщепление атомных пучков -- световое расщепление -- структуры высокого разрешения
Аннотация: Теоретически и численно исследуется дифракция атомных волновых пакетов на лазерной стоячей волне с гауссовым профилем с целью создания пространственных структур высокого разрешения в оптической нанолитографии.


Доп.точки доступа:
Пранц, С. В.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)