Изучение химического состава плазмы в процессах получения тонких пленок и покрытий с применением спектрометра "Колибри-2" [Текст] / В. Р. Шаяпов [и др. ] // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. - 2012. - Т. 78, № 1: № 1, № 1. - С. 96-98. - Библиогр.: с. 98 (9 назв. ) . - ISSN 1028-6861
Рубрики: Химия Физико-химические методы анализа Кл.слова (ненормированные): химический состав плазмы -- плазма -- получение тонких пленок -- тонкие пленки -- тонкие покрытия -- получение тонких покрытий -- спектрометры -- Колибри-2 (спектрометры) -- плазмохимическое разложение -- микроплазменный синтез -- гексаметилдисилазан -- оксидные покрытия -- сплавы алюминия -- силикатно-щелочные электролиты -- оптическая эмиссионная спектроскопия -- эмиссионная спектроскопия -- плазмохимическое осаждение -- плазма ВЧ-разряда Аннотация: Рассмотрено применение спектрометра "Колибри-2" для изучения химического состава плазмы на примерах плазмохимического разложения гексаметилдисилазана и микроплазменного синтеза оксидного покрытия на сплаве алюминия в силикатно-щелочном электролите. Доп.точки доступа: Шаяпов, В. Р.; Рогов, А. Б.; Румянцев, Ю. М.; Аюпов, Б. М.; Лабусов, В. А.; Зарубин, И. А. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Файнер, Н. И. Фазовый состав тонких пленок карбонитрида кремния, полученных плазмохимическим разложением кремнийорганических соединений [Текст] / Н. И. Файнер, В. И. Косяков // Журнал структурной химии. - 2015. - Т. 56, № 1. - С. 171-182 : 9 рис., 3 табл. - Библиогр.: с. 181-182 (57 назв. ) . - ISSN 0136-7463
Рубрики: Химия Химия высокомолекулярных соединений Органические соединения Кл.слова (ненормированные): гексаметилдисилазан -- карбонитрид кремния -- кристаллические фазы -- плазмохимическое осаждение -- тонкие пленки Аннотация: Высокотемпературные пленки карбонитрида кремния синтезированы плазмохимическим разложением газовых смесей 1, 1, 1, 3, 3, 3-гексаметилдисилазана (ГМДС) (синоним по ИЮПАК бис (триметилсилил) амин) с гелием или аммиаком в области температур 673-1273 K. показано, что пленки карбонитрида кремния, полученные в высокотемпературных процессах плазмохимического разложения кремнийорганических соединений, являются нанокомпозитными, в аморфную матрицу которых внедрены кристаллы, принадлежащие к фазам семейства альфа-Si[3-n]C[n]N[4] и примесного графита. Доп.точки доступа: Косяков, В. И. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |