Двухзеркальный проекционный объектив нанолитографа на лямбда=13. 5 нм [Текст] / С. Ю. Зуев [и др. ]> // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 1. - С. 61-64. : рис. - Библиогр.: с. 64 (7 назв. )
Рубрики: Физика Экспериментальные методы и аппаратура оптики Транспорт Транспортные сооружения Кл.слова (ненормированные): асферические зеркала -- двухзеркальные объективы -- критерий Марешаля -- Марешаля критерий -- нанолитографы -- оптические элементы -- проекционная ЭУФ-литография -- проекционные объективы -- экстремальное ультрафиолетовое излучение Аннотация: Описывается проекционный объектив, состоящий из двух асферических зеркал, для стенда нанолитографа с рабочей длиной волны лямбда=13. 5 нм. Значительное внимание уделяется методам аттестации формы поверхности зеркал и аберраций объектива с субнанометровой точностью. Доп.точки доступа: Зуев, С. Ю.; Пестов, А. Е.; Салащенко, Н. Н.; Скрыль, А. С.; Струля, И. Л.; Суслов, Л. А.; Торопов, М. Н.; Чхало, Н. И. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Полещук, А. Оптика века информационных технологий [Текст] / Александр Полещук> // Наука в России. - 2013. - № 2. - С. 4-10 : 8 фот., 5 рис. . - ISSN 0869-7078
Рубрики: Физика Физическая оптика Кл.слова (ненормированные): асферические волновые фронты -- асферические зеркала -- дифракционные оптические элементы -- дифракция -- оптика -- рефракционные элементы -- рефракция -- телескопы Аннотация: Основу оптики в классическом ее варианте составляют линзы, призмы, зеркала - элементы, уже давно достигшие пределов совершенства. Дальнейший прогресс в этой области науки и техники связывают с широким применением дифракционных оптических элементов (ДОЭ), представляющих собой тонкие стеклянные пластинки, одна из сторон которых имеет микрорельеф с минимальными поперечными размерами и глубиной в доли микрона, точнее - до половины волны света (0, 4-0, 7 мкм). Они могут заменять привычные объективы, преобразовывать лазерное излучение, формировать изображения виртуальных объектов, рассчитанных компьютером, а их использование открывает перспективу создания дешевых, легких, компактных, но в то же время функционально сложных оптических приборов. Диапазон применения ДОЭ очень широк: от искусственных хрусталиков глаза человека до оптики космических телескопов. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |