Ионные треки в аморфном нитриде кремния [Текст] / Л. А. Власукова [и др. ]> // Известия РАН. Серия физическая. - 2010. - Т. 74. N 2. - С. 226-228. - Библиогр.: c. 228 (14 назв. ) . - ISSN 0367-6765
Рубрики: Физика Общие вопросы физики Геология Минералогия Кл.слова (ненормированные): аморфный нитрид кремния -- атомно-силовая спектроскопия -- ионные треки -- модель термического пика -- нитрид кремния -- режим электронных потерь -- сканирующая электронная микроскопия -- температура плавления -- температурные поля -- травление треков -- электронные потери Аннотация: Исследована морфология треков быстрых ионов, выявленных в аморфном нитриде кремния после обработки в растворе HF. Структуры Si[3]N[4]/Si облучались ионами Fe, Kr, W в режиме электронных потерь. Прерывистые треки выявлены только при облучении W с максимальными для условий нашего эксперимента электронными потерями (20. 4 кэВ х нм[-1]). Представлены результаты расчета трекообразования в Si3N4 на базе модели термического пика. Доп.точки доступа: Власукова, Л. А.; Комаров, Ф. Ф.; Ювченко, В. Н.; Скуратов, В. А.; Дидык, А. Ю.; Плякин, Д. В. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Строение и электронная структура a-SiN[x] : H [Текст] / В. А. Гриценко, В. Н. Кручинин, И. П. Просвирин [и др.]> // Журнал экспериментальной и теоретической физики. - 2019. - Т. 156, вып. 5. - С. 1003-1015. - Библиогр.: с. 1014-1015 (30 назв.) . - ISSN 0044-4510
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): аморфный нитрид кремния -- атомарная структура -- диэлектрики -- плазмохимическое осаждение -- пленки -- стехиометрический состав -- электронные спектры Аннотация: Исследованы атомарная структура и электронные спектры пленок a-SiN[x] : H, выращенных с применением плазмохимического осаждения с варьированием потоков аммиака и моносилана. Доп.точки доступа: Гриценко, В. А.; Кручинин, В. Н.; Просвирин, И. П.; Новиков, Ю. Н.; Чин, А.; Володин, В. А. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |
Новиков, Ю. Н. Транспорт заряда в аморфном нитриде кремния [Текст] / Ю. Н. Новиков, В. А. Гриценко> // Журнал экспериментальной и теоретической физики. - 2021. - Т. 160, вып. 4. - С. 565-571. - Библиогр.: с. 571 (23 назв.) . - ISSN 0044-4510
Рубрики: Физика Электрические и магнитные свойства твердых тел Кл.слова (ненормированные): аморфные диэлектрики -- аморфный нитрид кремния -- диэлектрики -- перенос заряда Аннотация: В широком диапазоне электрических полей и температур экспериментально рассмотрен перенос заряда в аморфном нитриде кремния (Si[3]N[4]). Проведено сравнение результатов эксперимента с численными расчетами. Доп.точки доступа: Гриценко, В. А. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : н.з. (1) Свободны: н.з. (1) |