Чапланов, А. М. Структурные и фазовые превращения в тонких пленках молибдена при стационарном облучении азот-водородной плазмой [Текст] / А. М. Чапланов, Е. Н. Щербакова // Известия РАН. Серия физическая. - 2009. - Т. 73, N 4. - С. 508-510. : рис. - Библиогр.: c. 510 (3 назв. )
Рубрики: Радиоэлектроника Импульсные устройства Кл.слова (ненормированные): просвечивающая электронная микроскопия -- электронография -- тонкие пленки -- молибден -- плазменная обработка -- дуговой разряд -- нитрид молибдена -- азот-водородная плазма Аннотация: Методами просвечивающей электронной микроскопии и электронографии проведены исследования структурных и фазовых превращений в тонких пленках молибдена при облучении азот-водородной плазмой дугового разряда. Доп.точки доступа: Щербакова, Е. Н. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |