Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска
БД "Книги"
БД "Статьи"
Труды АМГУ
Выпускные квалификационные работы
Антитеррор
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>A=Потапкин, О. Д.$<.>)
Общее количество найденных документов : 7
Показаны документы с 1 по 7
1.


    Потапкин, О. Д.
    Вытягивание электронов через объективную линзу [Текст] / О. Д. Потапкин, А. А. Мельников // Известия РАН. Серия физическая. - 2008. - Т. 72, N 11. - С. 1554-1557. . - Библиогр.: c. 1557 (14 назв. )
УДК
^a537.533
ББК 22.338
Рубрики: Физика
   Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях
Кл.слова (ненормированные):
комбинированные линзы -- движение электронов -- обобщенный момент импульса электрона -- электростатические линзы -- объективные линзы -- непараксиальные электроны -- оже-электроны
Аннотация: Рассматриваются закономерности движения электронов в поле комбинированной линзы, то есть состоящей из электростатической линзы и магнитной, как в случае низковольтного РЭМ.


Доп.точки доступа:
Мельников, А. А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие
2.


    Потапкин, О. Д.
    О работе электронной пушки в режиме освещения по Кёлеру [Текст] / О. Д. Потапкин // Известия РАН. Серия физическая. - 2008. - Т. 72, N 11. - С. 1562-1566. . - Библиогр.: c. 1566 (10 назв. )
УДК
^a537.533
ББК 22.338
Рубрики: Физика
   Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях
Кл.слова (ненормированные):
электронные пушки -- электронно-оптические модели -- трехэлектродные пушки -- режим освещения Кёлера -- Кёлера режим освещения -- заглубление катода -- параксиальные свойства -- напряжение смещения -- кроссовер
Аннотация: Представлены свойства электронно-оптической модели "эквивалентный цилиндр" для описания поведения трехэлектродной пушки в зависимости от напряжения смещения и величины заглубления катода.


Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие
3.


    Потапкин, О. Д.
    Модель "эквивалентный цилиндр" для описания поля низковольтной электронной пушки [Текст] / О. Д. Потапкин // Известия РАН. Серия физическая. - 2009. - Т. 73, N 4. - С. 503-507. . - Библиогр.: c. 507 (9 назв. )
УДК
^a537.533
ББК 22.338
Рубрики: Физика
   Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях
Кл.слова (ненормированные):
электронные пушки -- электронно-оптические модели -- кроссовер -- электрод Венельта -- Венельта электрод -- напряжение запирания -- катодные линзы -- напряжение смещения -- эквивалентный цилиндр
Аннотация: Рассматриваются вопросы работы пушки в низковольтном режиме.


Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие
4.


    Потапкин, О. Д.
    Проекционная электронно-лучевая литография для нанотехнологий [Текст] / О. Д. Потапкин, Б. В. Трошин // Известия РАН. Серия физическая. - 2010. - Т. 74, N 7. - С. 1056-1060. . - Библиогр.: c. 1060 (14 назв. )
УДК
^a557.533
ББК 22.338
Рубрики: Физика
   Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях
Кл.слова (ненормированные):
аберрации Берша-Леффлера -- Берша-Леффлера аберрации -- метод Рунге-Кутта -- проекционная литография -- разрешающая способность -- Рунге-Кутта метод -- фокусное расстояние -- численное моделирование -- электронно-лучевая литография
Аннотация: Исследованы параметры установки проекционной электронно-лучевой литографии, дан анализ зависимости разрешающей способности края проецируемого элемента. Показано, что существуют по крайней мере три параметра оптимизации: размер поля, фокусное расстояние проектора и угол раскрытия на мишени. В процессе оптимизации учитывался вклад аберрации стохастического взаимодействия.


Доп.точки доступа:
Трошин, Б. В.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие
5.


    Мельников, А. А.
    Анализ коэффициента сборки низковольтного РЭМ [Текст] / А. А. Мельников, О. Д. Потапкин // Известия РАН. Серия физическая. - 2010. - Т. 74, N 7. - С. 1052-1055. : Рис. - Библиогр.: c. 1055 (9 назв. )
УДК
^a557.533
ББК 22.338
Рубрики: Физика
   Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях
Кл.слова (ненормированные):
вторичные траектории -- вторичные электроны -- движение электронов -- детекторы Эверхарта-Торнли -- низковольтные РЭМ -- отраженные электроны -- растровые электронные микроскопы -- Эверхарта-Торнли детекторы -- электростатические детекторы
Аннотация: Проводится анализ сбора электронов полем электростатических детекторов, расположенных над объективной линзой низковольтного РЭМ. Ускоряющее первичный пучок поле над объективной линзой является полем электростатического зеркала для вторичных и отраженных электронов. Анализируются вопросы движения вторичных и отраженных электронов.


Доп.точки доступа:
Потапкин, О. Д.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие
6.


    Потапкин, О. Д.
    Анализ коэффициента сбора РЭМ [Текст] / О. Д. Потапкин, А. А. Мельников // Известия РАН. Серия физическая. - 2012. - Т. 76, № 9. - С. 1099-1102. - Библиогр.: c. 1102 (9 назв. ) . - ISSN 0367-6765
УДК
^a537.533
ББК 22.338
Рубрики: Физика
   Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях
Кл.слова (ненормированные):
вторичные электроны -- детекторы Эверхарта-Торнли -- Дирихле задача -- задача Дирихле -- отраженные электроны -- парно-симметричные детекторы -- растровая электронная микроскопия -- численные методы -- Эверхарта-Торнли детекторы
Аннотация: Решена задача Дирихле для расчета электростатического поля парно-симметричных детекторов Эверхарта-Торнли, расположенных под полюсным наконечником объективной линзы. Численными методами найдены траектории вторичных и отраженных электронов. Построены диаграммы эффективности сбора для разных значений отношения длины рабочего отрезка к диаметру полюсного наконечника. Результаты полезны при проведении линейных измерений наноразмерных структур.


Доп.точки доступа:
Мельников, А. А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие
7.


    Потапкин, О. Д.
    Литография с гауссовым распределением плотности тока в зонде для нанотехнологий [Текст] / О. Д. Потапкин // Известия РАН. Серия физическая. - 2012. - Т. 76, № 9. - С. 1103-1106. - Библиогр.: c. 1106 (16 назв. ) . - ISSN 0367-6765
УДК
^a537.533
ББК 22.338
Рубрики: Физика
   Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях
Кл.слова (ненормированные):
гауссово распределение плотности тока -- катод Шоттки -- магнитные линзы -- модель трехэлектродной пушки -- разрешающая способность -- стохастическое взаимодействие -- хроматическая аберрация -- Шоттки катод -- электронно-лучевая литография
Аннотация: Исследованы параметры системы электронно-лучевой литографии с гауссовым распределением плотности тока, дан анализ зависимости разрешающей способности от увеличения и соотношения потенциалов на анодах. Использовалась модель трехэлектродной пушки с катодом ZrO/W. В процессе оптимизации учитывался вклад аберрации стохастического взаимодействия. Показано, что даже с пушкой простейшей геометрии достижимо разрешение 10 нм.


Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 18.09.2024
Число запросов 21487
Число посетителей 1
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)