Библиотека Амурского Государственного Университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Шлюз Z39.50

Базы данных

БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска

БД "Книги"

БД "Статьи"

Труды АМГУ

Выпускные квалификационные работы

Антитеррор

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>A=Мутилин, С. В.$<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Мутилин, С. В.
Показатель преломления тонкой однородной пленки SiO[2] [Текст] / С. В. Мутилин, Т. Хасанов // Оптика и спектроскопия. - 2008. - Т. 105, N 3. - С. 505-510.

УДК

^a535

^a539.2

ББК 22.34 + 22.37
Рубрики: Физика
Оптика в целом
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Кл.слова (ненормированные):
тонкие пленки -- SiO[2] -- показатель преломления
Аннотация: Представлены результаты исследования влияния неоднородности по толщине на показатель преломления пленок SiO[2]. Пленки SiO[2], нанесенные методом пиролиза тетраэтоксисилана на плоскопараллельных подложках ориентированного кристаллического кварца и на пластине кремния, подвергались послойному травлению в растворе Плискина. Рассчитывались показатель преломления и геометрическая толщина пленок из измеренных эллипсометрических углов после каждого травления. Представлен численный анализ точности определения показателя преломления в зависимости от толщины пленки за счет экспериментальных ошибок измерений поляризационных углов и параметров подложки. Для пленок SiO[2] толще 20 нм влияние неоднородности не обнаружено. При меньших толщинах наблюдалась зависимость показателей преломления от толщины. Обсуждены причины таких зависимостей.

Доп.точки доступа:
Хасанов, Т.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 10.09.2024
Число запросов	26385
Число посетителей	1
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)