Библиотека Амурского Государственного Университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Шлюз Z39.50

Базы данных

БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска

БД "Книги"

БД "Статьи"

Труды АМГУ

Выпускные квалификационные работы

Антитеррор

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>A=Клюенков, Е. Б.$<.>)

Общее количество найденных документов : 11
Показаны документы с 1 по 11

Коррекция формы оптических поверхностей с субнанометровой точностью. Проблемы, статус, перспективы [Текст] / Е. Б. Клюенков [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2008. - Т. 72, N 2. - С. 205-208. - Библиогр.: c. 208 (13 назв. )

УДК

^a681.787

^a624.793.164

ББК 22.341 + 30
Рубрики: Физика
   Экспериментальные методы и аппаратура оптики
   Техника
   Общие вопросы техники
Кл.слова (ненормированные):
оптические поверхности -- проекционные литографические установки -- прецизионный интерферометр -- сферические волны -- исследовательские работы -- прецизионная коррекция -- зеркала
Аннотация: Сообщается о статусе работ в ИФМ РАН в области прецизионной коррекции формы зеркал для объективов проекционных литографических установок с рабочей дляной волны 13. 5 нм.

Доп.точки доступа:
Клюенков, Е. Б.; Полковников, В. Н.; Салащенко, Н. Н.; Чхало, Н. И.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Клюенков, Е. Б.
Работы по созданию и аттестации рентгенооптических элементов и систем сверхвысокого разрешения в ИФМ РАН [Текст] / Е. Б. Клюенков, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало // Известия РАН. Серия физическая. - 2009. - Т. 73, N 1. - С. 66-70. : Рис. - Библиогр.: c. 70 (15 назв. )

УДК

^a681.787

^a624.793.164

ББК 22.341 + 39.11
Рубрики: Физика
   Экспериментальные методы и аппаратура оптики
   Транспорт
   Транспортные сооружения
Кл.слова (ненормированные):
интерферометрия -- светосильные оптические поверхности -- рентгенооптические элементы -- прецизионная метрология -- интерферометр с дифракционной волной сравнения -- интерферометры -- зеркальные объективы -- рентгенооптика
Аннотация: Сообщается о последних разработках, проводимых в ИФМ РАН в области метрологии и коррекции формы светосильных подложек для рентгенооптики формы поверхностей с субнаномерной точностью.

Доп.точки доступа:
Салащенко, Н. Н.; Чхало, Н. И.; ИФМ РАН; Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Исследования в области создания фокусирующих многослойных рентгеновских зеркал [Текст] / А. А. Ахсахалян [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2010. - Т. 74, N 1. - С. 44-46. - Библиогр.: c. 46 (20 назв. ) . - ISSN 0367-6765

УДК

^a621.793.164

ББК 34.64
Рубрики: Машиностроение
Соединения деталей машин
Кл.слова (ненормированные):
зеркала -- зеркала в форме эллипсоида вращения -- зеркала цилиндрической формы -- Киркпатрика-Байеза скрещенные системы -- метод реплик -- многослойные фокусирующие зеркала -- плоскости изображения -- рентгеновские зеркала -- скрещенные системы Киркпатрика-Байеза -- уголковые отражатели -- фокусирующие свойства
Аннотация: В работе приводится обзор исследований и важнейших полученных результатов за последние пять лет в Институте физики микроструктур РАН в области создания фокусирующих многослойных зеркал для жесткого рентгеновского диапазона длин волн (лямбда=0. 05-0. 25 нм, Е=25-5 кэВ).

Доп.точки доступа:
Ахсахалян, А. А.; Ахсахалян, А. Д.; Вайнер, Ю. А.; Зорина, М. В.; Клюенков, Е. Б.; Муравьев, В. А.; Салащенко, Н. Н.; Харитонов, А. И.; Институт физики микроструктур РАН

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Многослойные тонкопленочные фильтры экстремального ультрафиолетового и мягкого рентгеновского диапазонов [Текст] / Б. А. Володин [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2010. - Т. 74, N 1. - С. 53-57 : Рис. - Библиогр.: c. 56-57 (11 назв. ) . - ISSN 0367-6765

УДК

^a621.793.182

ББК 34.64
Рубрики: Машиностроение
Соединения деталей машин
Кл.слова (ненормированные):
металлические пленки -- многослойные тонкопленочные фильтры -- мягкий рентгеновский диапазон -- оптические свойства -- проекционная ЭУФ-литография -- прозрачность -- тонкопленочные фильтры -- ультратонкие фильтры -- фильтры -- экстремальный ультрафиолетовый диапазон
Аннотация: Разработаны многослойные тонкопленочные фильтры из различных пар материалов, имеющие окна прозрачности в диапазоне длин волн лямбда < 60 нм.

Доп.точки доступа:
Володин, Б. А.; Гусев, С. А.; Дроздов, М. Н.; Зуев, С. Ю.; Клюенков, Е. Б.; Лопатин, А. Я.; Лучин, В. И.; Пестов, А. Е.; Салащенко, Н. Н.; Цыбин, Н. Н.; Чхало, Н. И.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Стенд проекционного ЭУФ-нанолитографа-мультипликатора с расчетным разрешением 30 нм [Текст] / Д. Г. Волгунов [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 1. - С. 54-56. : рис. - Библиогр.: с. 56 (10 назв. )

УДК

^a681.787

^a624.793.164

ББК 22.341 + 39.11
Рубрики: Физика
   Экспериментальные методы и аппаратура оптики
   Транспорт
   Транспортные сооружения
Кл.слова (ненормированные):
высокие технологии -- нанолитограф-мультипликатор -- наноэлектроника -- оптические элементы -- проекционная ЭУФ-литография -- разрешающая способность -- экстремальное ультрафиолетовое излучение
Аннотация: Сообщается о созданном в ИФМ РАН стенде нанолитографа-мультипликатора с рабочей длиной волны 13, 5 нм и расчетным пространственным разрешением 30 нм.

Доп.точки доступа:
Волгунов, Д. Г.; Забродин, И. Г.; Закалов, Б. А.; Зуев, С. Ю.; Каськов, И. А.; Клюенков, Е. Б.; Пестов, А. Е.; Полковников, В. Н.; Салащенко, Н. Н.; Суслов, Л. А.; Торопов, М. Н.; Чхало, Н. И.; Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН; ИФМ РАН

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Технологический комплекс для изготовления прецизионной изображающей оптики [Текст] / С. Ю. Зуев [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 1. - С. 57-60. : рис. - Библиогр.: с. 60 (7 назв. )

УДК

^a681.787

^a621.384.4

ББК 22.341 + 32.85
Рубрики: Физика
   Экспериментальные методы и аппаратура оптики
   Радиоэлектроника
   Электроника в целом
Кл.слова (ненормированные):
интерферометры -- ионное травление -- магнетронное напыление -- методы коррекции формы -- многослойные структуры -- оптические элементы -- перецизионная изображающая техника -- технологические линии
Аннотация: Описан комплексный подход к решению проблемы создания сверхгладких оптических поверхностей с субнанометровой точностью формы.

Доп.точки доступа:
Зуев, С. Ю.; Клюенков, Е. Б.; Пестов, А. Е.; Полковников, В. Н.; Салащенко, Н. Н.; Суслов, Л. А.; Торопов, М. Н.; Чхало, Н. И.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Термически стойкие многослойные фильтры на основе молибдена для экстремального УФ-диапазона [Текст] / М. Н. Дроздов [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 1. - С. 77-79. . - Библиогр.: с. 79 (3 назв. )

УДК

^a621.793.182

ББК 34.64
Рубрики: Машиностроение
Соединения деталей машин
Кл.слова (ненормированные):
вторично-ионная масс-спектрометрия -- многослойные структуры -- молибден -- оптические системы -- свободно висящие фильтры -- термически стойкие фильтры -- фильтры
Аннотация: Предложены новые многослойные структуры на основе молибдена и изготовлены образцы свободновисящих фильтров диаметром 160 мм с прозрачностью 71% на длине волны лямбда=13. 5 нм.

Доп.точки доступа:
Дроздов, М. Н.; Клюенков, Е. Б.; Лопатин, А. Я.; Лучин, В. И.; Пестов, А. Е.; Салащенко, Н. Н.; Цыбин, Н. Н.; Чхало, Н. И.; Шмаенок, Л. А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Эволюция распределения элементов в свободно висящих структурах Zr/ZrSi[2] с защитными слоями MoSi[2] и ZrSu[2] при отжиге [Текст] / М. Н. Дроздов [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 1. - С. 80-83. . - Библиогр.: с. 83 (3 назв. )

УДК

^a621.793.182

ББК 34.64
Рубрики: Машиностроение
Соединения деталей машин
Кл.слова (ненормированные):
вторично-ионная масс-спектрометрия -- магнетронное напыление -- многослойные структуры -- проекционная ЭУФ-литография -- свободно висящие структуры -- фильтры -- экстремальное ультрафиолетовое излучение
Аннотация: Методом вторично-ионной масс-спектрометрии (ВИМС) проведен анализ распределения элементов по глубине в отожженных образцах многослойных ЭУФ-фильтров Zr/ZrSi[2] с защитными слоями MoSi[2] и ZrSu[2].

Доп.точки доступа:
Дроздов, М. Н.; Дроздов, Ю. Н.; Клюенков, Е. Б.; Лопатин, А. Я.; Лучин, В. И.; Салащенко, Н. Н.; Цыбин, Н. Н.; Шмаенок, Л. А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Применение реактивного ионно-лучевого травления для коррекции формы рентгеновских зеркал [Текст] / А. А. Ахсахалян [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2012. - Т. 76, № 2. - С. 196-198. - Библиогр.: c. 198 (5 назв. ) . - ISSN 0367-6765

УДК

^a621.793.164

ББК 34.64
Рубрики: Машиностроение
Соединения деталей машин
Кл.слова (ненормированные):
ионно-лучевое травление -- Киркпатрика-Байеза скрещенные системы -- реактивное ионно-лучевое травление -- рентгеновские зеркала -- скрещенные системы Киркпатрика-Байеза -- фокусирующие свойства -- цилиндрические поверхности
Аннотация: В работе представлена методика коррекции формы цилиндрических поверхностей методом реактивного ионно-лучевого травления. Приведены результаты эксперимента по изготовлению поверхности из стекла в форме эллиптического цилиндра.

Доп.точки доступа:
Ахсахалян, А. А.; Ахсахалян, А. Д.; Вайнер, Ю. А.; Волгунов, Д. Г.; Зорина, М. В.; Клюенков, Е. Б.; Каськов, И. А.; Кузнецов, М. И.; Нефедов, И. М.; Салащенко, Н. Н.; Харитонов, А. И.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

10.

Сравнительное тестирование свободно висящих многослойных фильтров Mo/ZrSi[2] и Mo/NbSi[2] по термостабильности [Текст] / М. Н. Дроздов [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2013. - Т. 77, № 1. - С. 94-96. - Библиогр.: с. 96 (5 назв. ) . - ISSN 0367-6765

УДК

^a544.032

ББК 24.5
Рубрики: Химия
Физическая химия в целом
Кл.слова (ненормированные):
вторично-ионная масс-спектрометрия -- многослойные фильтры -- свободно висящие фильтры -- термическая стабильность -- термически стойкие фильтры -- тонкопленочные фильтры -- ЭУФ-нанолитографы
Аннотация: Изучена термическая стабильность многослойных тонкопленочных фильтров Mo/ZrSi[2] и Mo/NbSi[2] в температурном интервале 840-940°C при долговременном нагреве в вакууме. До и после лазерного или токового отжига измерялось пропускание фильтра и проводился послойный ВИМС-анализ структуры. Сравнительное тестирование показало, что структура Mo/NbSi[2] менее термостабильна при высоких тепловых нагрузках.

Доп.точки доступа:
Дроздов, М. Н.; Клюенков, Е. Б.; Лопатин, А. Я.; Лучин, В. И.; Пестов, А. Е.; Салащенко, Н. Н.; Цыбин, Н. Н.; Чхало, Н. И.; Шмаенок, Л. А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

11.

Высокопрозрачные свободновисящие пленки для защиты маски от загрязнений в установках проекционной ЭУФ-литографии [Текст] / Б. А. Володин [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2014. - Т. 78, № 1. - С. 82-85 : рис. - Библиогр.: c. 85 (7 назв. ) . - ISSN 0367-6765

УДК

^a621.793.182

ББК 34.64
Рубрики: Машиностроение
Соединения деталей машин
Кл.слова (ненормированные):
защита от загрязнений -- защитные экраны -- маски ЭУФ-нанолитографа -- проекционная ЭУФ-литография -- сверхтонкие пленки -- экстремальное ультрафиолетовое излучение
Аннотация: Продемонстрирована возможность изготовления сверхтонких свободновисящих пленок с повышенной прозрачностью на рабочей длине волны 13. 5 нм для применения в качестве защитного экрана маски в установках проекционной ЭУФ-литографии. Изготовлены и изучены образцы пленок толщиной 25-50 нм с апертурой до 80 мм нескольких видов: многослойные тонкопленочные структуры Mo/NbSi[2], Mo/ZrSi[2] и Si с пропусканием 84-86% на длине волны 13. 5 нм. Достигнутые результаты дают основания надеяться, что развитие методики изготовления свободновисящих сверхтонких пленок позволит удовлетворить требованиям, предъявляемым к защитному экрану.

Доп.точки доступа:
Володин, Б. А.; Клюенков, Е. Б.; Лопатин, А. Я.; Лукьянов, А. Ю.; Лучин, В. И.; Пестов, А. Е.; Салащенко, Н. Н.; Цыбин, Н. Н.; Шмаенок, Л. А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 12.09.2024
Число запросов	30918
Число посетителей	1
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)