Библиотека Амурского Государственного Университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Шлюз Z39.50

Базы данных

БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска

БД "Книги"

БД "Статьи"

Труды АМГУ

Выпускные квалификационные работы

Антитеррор

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>A=Казьмирук, В. В.$<.>)

Общее количество найденных документов : 6
Показаны документы с 1 по 6

Казьмирук, В. В.
Сканирующие электронные микроскопы МикроСкан серии МС20 [Текст] / В. В. Казьмирук // Известия РАН. Серия физическая. - 2008. - Т. 72, N 11. - С. 1550-1553. : рис. - Библиогр.: c. 1553 (2 назв. )

УДК

^a621.382

ББК 32.852
Рубрики: Радиоэлектроника
Полупроводниковые приборы
Кл.слова (ненормированные):
сканирующие электронные микроскопы -- микролитографы -- системные модули -- видеоконтрольные устройства -- электронно-лучевая литография -- принцип модульности -- ионно-оптические системы
Аннотация: В ИПТМ РАН разработана новая серия сканирующих электронных микроскопов (СЭМ) МикроСкан-МС20. Основная их отличительная особенность - модульность конструкции абсолютно всех узлов и систем, что позволило достичь высокого уровня унификации.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Казьмирук, В. В.
Новые принципы создания многолучевых микроминиатюрных электронно-оптических систем для диагностики полупроводниковых структур [Текст] / В. В. Казьмирук, Т. В. Савицкая // Известия РАН. Серия физическая. - 2009. - Т. 73, N 4. - С. 485-488. : рис. - Библиогр.: c. 488 (11 назв. )

УДК

^a621.382

ББК 32.852
Рубрики: Радиоэлектроника
Полупроводниковые приборы
Кл.слова (ненормированные):
микрооптические системы -- электронно-оптические расчеты -- тонкие пленки -- электронная оптика -- электронно-лучевые МОС -- детекторы вторичных электронов -- сверхвысокое разрешение
Аннотация: Предложен новый подход к созданию диагностических электронно-оптических систем (ЭОС) высокого (10-30 нм) и сверхвысокого (до 2 нм) разрешения для дефектоскопии полупроводниковых пластин большого диаметра.

Доп.точки доступа:
Савицкая Т. В.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Казьмирук, В. В.
Погрешности измерений линейных размеров структур при регистрации обратно рассеянных электронов в РЭМ [Текст] / В. В. Казьмирук, Т. Н. Савицкая // Известия РАН. Серия физическая. - 2010. - Т. 74, N 7. - С. 1029-1031. . - Библиогр.: c. 1031 (3 назв. )

УДК

^a621.382

ББК 32.852
Рубрики: Радиоэлектроника
Полупроводниковые приборы
Кл.слова (ненормированные):
безэталонные методы измерений -- интенсивность сигнала ОРЭ -- моделирование сигнала ОРЭ -- обратно рассеянные электроны -- погрешности измерений -- растровая электронная микроскопия -- энергия
Аннотация: Рассматривается вопрос определения ширины элементов и локализации края структур нанометрового диапазона по интенсивности сигнала обратно рассеянных электронов (ОРЭ) при применении безэталонных методов измерений.

Доп.точки доступа:
Савицкая, Т. Н.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Барабаненков, М. Ю.
Разработка методов детектирования сигналов для электронно-оптического in situ-мониторинга периодических структур [Текст] / М. Ю. Барабаненков, В. В. Казьмирук, Т. Н. Савицкая // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 9. - С. 1259-1262. . - Библиогр.: c. 1262 (5 назв. )

УДК

^a537.533

ББК 22.338
Рубрики: Физика
Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях
Кл.слова (ненормированные):
детектирование сигналов -- магнитно-электростатические линзы -- периодические структуры -- системы высокого разрешения -- формирующие линзы -- электронно-зондовые системы -- электронно-оптический мониторинг
Аннотация: Для низковольтных электронно-зондовых систем высокого разрешения с комбинированной магнитно-электростатической формирующей линзой предложена система детектирования, позволяющая добиться практически стопроцентной эффективности сбора информативного сигнала.

Доп.точки доступа:
Казьмирук, В. В.; Савицкая, Т. Н.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Казьмирук, В. В.
Разработка формирующей линзы для низковольтных электронно-зондовых систем высокого разрешения [Текст] / В. В. Казьмирук, Т. Н. Савицкая // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 9. - С. 1263-1265. . - Библиогр.: c. 1265 (6 назв. )

УДК

^a537.533

ББК 22.338
Рубрики: Физика
Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях
Кл.слова (ненормированные):
детектирование сигналов -- магнитно-электростатические линзы -- низковольтные системы -- системы высокого разрешения -- формирующие линзы -- электронно-зондовые системы
Аннотация: Разработана оригинальная конструкция комбинированной магнитно-электростатической формирующей линзы для низковольтных электронно-зондовых систем высокого разрешения, позволяющая добиться стопроцентной эффективности детектирования сигнала и обеспечивающая в диапазоне энергий до 0. 04 кэВ разрешение менее 1 нм.

Доп.точки доступа:
Савицкая, Т. Н.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Казьмирук, В. В.
Автоматизация режима электронно-зондового мониторинга дефектов шаблонов для импринт-литографии [Текст] / В. В. Казьмирук, Т. Н. Савицкая // Известия РАН. Серия физическая. - 2012. - Т. 76, № 9. - С. 1077-1081. - Библиогр.: c. 1081 (3 назв. ) . - ISSN 0367-6765

УДК

^a621.382

ББК 32.852
Рубрики: Радиоэлектроника
Полупроводниковые приборы
Кл.слова (ненормированные):
вторично-эмиссионные сигналы -- импринт-литография -- мониторинг дефектов -- получение информации -- растровая электронная микроскопия -- сканирование -- электронно-зондовые системы
Аннотация: В работе рассматриваются вопросы выбора оптимальных параметров электронно-зондовых систем при сканировании площадей порядка 1 см[2] с разрешением 3-20 нм и динамической регулировки этих параметров во время сканирования. Полученные зависимости открывают перспективу решения ряда проблем полной автоматизации процесса получения информации.

Доп.точки доступа:
Савицкая, Т. Н.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 16.08.2024
Число запросов	151871
Число посетителей	1
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)