Библиотека Амурского Государственного Университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Шлюз Z39.50

Базы данных

БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска

БД "Книги"

БД "Статьи"

Труды АМГУ

Выпускные квалификационные работы

Антитеррор

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>A=Васин, В. А.$<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

Васин, В. А.
Контрольно-навигационная система современного сверхвысоковакуумного аналитико-технологического комплекса [Текст] / В. А. Васин, Е. Н. Ивашов, С. В. Степанчиков // Контроль. Диагностика. - 2012. - № 5. - С. 71-74. - Библиогр.: с. 74 (7 назв. ) . - ISSN 0201-7032

УДК

^a004.8

ББК 32.813
Рубрики: Радиоэлектроника
Искусственный интеллект. Экспертные системы
Кл.слова (ненормированные):
контрольно-навигационные системы -- сверхвысоковакуумные комплексы -- аналитико-технологические комплексы -- системы координат -- обработка полупроводниковых структур -- полупроводниковые структуры -- l-координатные системы -- абсолютные координаты -- системы обратной связи
Аннотация: Рассмотрены устройства для определения положения исполнительных систем оборудования в пространстве, в которых положение и движение определяются непосредственно в абсолютных координатах. Предложена контрольно-навигационная система для сверхвысоковакуумного аналитико-технологического комплекса обработки полупроводниковых структур в замкнутом цикле.

Доп.точки доступа:
Ивашов, Е. Н.; Степанчиков, С. В.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Отечественное оборудование для микро- и нанотехнологий и перспективы его развития [Текст] / В. А. Васин [и др.] // Справочник. Инженерный журнал. - 2013. - № 1. - С. 37-43. - Библиогр.: с. 43 (5 назв. ) . - ISSN 0203-347X

УДК

^a621.7

ББК 34.5
Рубрики: Машиностроение
Общая технология машиностроения
Кл.слова (ненормированные):
микросистемная техника -- надежность -- нанообъекты -- нанотехнологии -- электронно-лучевые системы
Аннотация: В статье рассмотрены вопросы создания и эксплуатации оборудования для производства и исследования объектов нанотехнологий.

Доп.точки доступа:
Васин, В. А.; Фатьянова, Н. Г.; Васичев, Б. Н.; Степанчиков, С. В.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 17.08.2024
Число запросов	83865
Число посетителей	1
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)