Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска
БД "Книги"
БД "Статьи"
Труды АМГУ
Выпускные квалификационные работы
Антитеррор
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>A=Ануров, А. Е.$<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Ануров, А. Е.
    Влияние технологических параметров на свойства наноразмерных пленок нитрида кремния, осажденных в индуктивно-связанной плазме [Текст] / А. Е. Ануров, А. А. Данилов, А. А. Жуков // Наноматериалы и наноструктуры. - 2011. - № 4. - С. 43-47 : ил. - Библиогр.: с. 46-47 (10 назв.)
УДК
^a544.22
ББК 24.52
Рубрики: Химия
   Химия твердого тела
Кл.слова (ненормированные):
наноразмерные пленки -- нитрид кремния -- химическое газофазное осаждение -- электрическая прочность -- коэффициент преломления -- индуктивно-связанная плазма
Аннотация: Рассмотрены технологические особенности формирования слоев нитрида кремния толщиной 70... 170 нм, осаждаемых методом плазмоактивируемого процесса химического осаждения из газовой фазы при низком давлении. Исследованы оптические и электрические характеристики слоев нитрида кремния в зависимости от технологических режимов их получения.


Доп.точки доступа:
Данилов, А. А.; Жуков, А. А.
Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден)

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 20.08.2024
Число запросов 2607
Число посетителей 1
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)