Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=электронно-лучевые системы<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


   
    Отечественное оборудование для микро- и нанотехнологий и перспективы его развития [Текст] / В. А. Васин [и др.] // Справочник. Инженерный журнал. - 2013. - № 1. - С. 37-43. - Библиогр.: с. 43 (5 назв. ) . - ISSN 0203-347X
УДК
ББК 34.5
Рубрики: Машиностроение
   Общая технология машиностроения

Кл.слова (ненормированные):
микросистемная техника -- надежность -- нанообъекты -- нанотехнологии -- электронно-лучевые системы
Аннотация: В статье рассмотрены вопросы создания и эксплуатации оборудования для производства и исследования объектов нанотехнологий.


Доп.точки доступа:
Васин, В. А.; Фатьянова, Н. Г.; Васичев, Б. Н.; Степанчиков, С. В.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

 
Статистика
за 17.08.2024
Число запросов 79065
Число посетителей 1
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)