Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска
БД "Книги"
БД "Статьи"
Труды АМГУ
Выпускные квалификационные работы
Антитеррор
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=фотолитографический процесс<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


   
    Полимеры для нанолитографии. Новая стратегия и синтеза сополимеров производных малеимида, норборнена и стирола с боковыми гексафторизопропанольными и трет-бутилкарбонатными группами [Текст] / А. Я. Вайнер [и др. ] // Доклады Академии наук. - 2008. - Т. 420, N 1, май. - С. 62-65. - Библиогр.: с. 65
УДК
^a541.6
ББК 24.7
Рубрики: Химия
   Химия высокомолекулярных соединений
Кл.слова (ненормированные):
интегральные схемы -- фотолитографический процесс -- синтез полимеров -- нанолитография -- радикальная сополимеризация
Аннотация: Предложена новая стратегия дизайна и синтеза полимеров для нанолитографии, адекватных технологий с экспонирующим излучением на длине волны 248 нм и позволяющих реализовать микросхемы с суб-0. 1 мкм минимальными размерами.


Доп.точки доступа:
Вайнер, А. Я.; Дюмаев, К. М.; Еремина, Л. А.; Машанский, Ф. И.; Менделева, Ю. А.; Тарнопольский, А. И.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 10.09.2024
Число запросов 37720
Число посетителей 1
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)