Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска
БД "Книги"
БД "Статьи"
Труды АМГУ
Выпускные квалификационные работы
Антитеррор
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=фотолиграфическое оборудование<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Агейченко, А.
    Современные методы упаковки интегральных схем [Текст]. Ч. 2. Фотолитография и оборудование / А. Агейченко // Электроника: наука, технология, бизнес. - 2008. - N 6. - С. 54-59 . - ISSN 1992-4178
УДК
^a621.38
ББК 32.85
Рубрики: Радиоэлектроника
   Электроника в целом
Кл.слова (ненормированные):
интегральные схемы -- упаковка интегральных схем -- фотолитография -- степперы -- плотность упаковки -- полупроводниковые пластины -- печатные платы -- фотолиграфическое оборудование
Аннотация: Возрастающие требования к плотности упаковки интегральных схем стимулируют переход от контактных методов переноса изображения топологии в передовой упаковке к использованию проекционных методов переноса изображения - степперов.


Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : эн.ф. (1)
Свободны: эн.ф. (1)

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 18.09.2024
Число запросов 27560
Число посетителей 1
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)