Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска
БД "Книги"
БД "Статьи"
Труды АМГУ
Выпускные квалификационные работы
Антитеррор
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=фазовая маска<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Белокопытов, Г. В.
    Сравнение характеристик изображения в проекционной фотолитографии [Текст] / Г. В. Белокопытов, Ю. В. Рыжикова // Известия РАН. Серия физическая. - 2008. - Т. 72, N 1. - С. 88-91. - Библиогр.: c. 91 (6 назв. )
УДК
^a535.317
ББК 22.347
Рубрики: Физика
   Ультрафиолетовые лучи
Кл.слова (ненормированные):
численное моделирование -- фотолитография -- критические размеры -- численная апертура -- круговая апертура -- когерентность -- проекционная фотолитография -- бинарная маска -- фазовая маска -- характеристики изображения
Аннотация: Путем численного моделирования проведено сравнение характеристик изображений, создаваемых некоторыми типичными фотошаблонами. Рассмотрена методика оценки критических размеров элементов изображения.


Доп.точки доступа:
Рыжикова, Ю. В.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : з.п. (1)
Свободны: з.п. (1)

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 18.09.2024
Число запросов 15638
Число посетителей 1
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)