Библиотека Амурского Государственного Университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Шлюз Z39.50

Базы данных

БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска

БД "Книги"

БД "Статьи"

Труды АМГУ

Выпускные квалификационные работы

Антитеррор

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=тонкопленочные фильтры<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

Многослойные тонкопленочные фильтры экстремального ультрафиолетового и мягкого рентгеновского диапазонов [Текст] / Б. А. Володин [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2010. - Т. 74, N 1. - С. 53-57 : Рис. - Библиогр.: c. 56-57 (11 назв. ) . - ISSN 0367-6765

УДК

^a621.793.182

ББК 34.64
Рубрики: Машиностроение
Соединения деталей машин
Кл.слова (ненормированные):
металлические пленки -- многослойные тонкопленочные фильтры -- мягкий рентгеновский диапазон -- оптические свойства -- проекционная ЭУФ-литография -- прозрачность -- тонкопленочные фильтры -- ультратонкие фильтры -- фильтры -- экстремальный ультрафиолетовый диапазон
Аннотация: Разработаны многослойные тонкопленочные фильтры из различных пар материалов, имеющие окна прозрачности в диапазоне длин волн лямбда < 60 нм.

Доп.точки доступа:
Володин, Б. А.; Гусев, С. А.; Дроздов, М. Н.; Зуев, С. Ю.; Клюенков, Е. Б.; Лопатин, А. Я.; Лучин, В. И.; Пестов, А. Е.; Салащенко, Н. Н.; Цыбин, Н. Н.; Чхало, Н. И.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Сравнительное тестирование свободно висящих многослойных фильтров Mo/ZrSi[2] и Mo/NbSi[2] по термостабильности [Текст] / М. Н. Дроздов [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2013. - Т. 77, № 1. - С. 94-96. - Библиогр.: с. 96 (5 назв. ) . - ISSN 0367-6765

УДК

^a544.032

ББК 24.5
Рубрики: Химия
Физическая химия в целом
Кл.слова (ненормированные):
вторично-ионная масс-спектрометрия -- многослойные фильтры -- свободно висящие фильтры -- термическая стабильность -- термически стойкие фильтры -- тонкопленочные фильтры -- ЭУФ-нанолитографы
Аннотация: Изучена термическая стабильность многослойных тонкопленочных фильтров Mo/ZrSi[2] и Mo/NbSi[2] в температурном интервале 840-940°C при долговременном нагреве в вакууме. До и после лазерного или токового отжига измерялось пропускание фильтра и проводился послойный ВИМС-анализ структуры. Сравнительное тестирование показало, что структура Mo/NbSi[2] менее термостабильна при высоких тепловых нагрузках.

Доп.точки доступа:
Дроздов, М. Н.; Клюенков, Е. Б.; Лопатин, А. Я.; Лучин, В. И.; Пестов, А. Е.; Салащенко, Н. Н.; Цыбин, Н. Н.; Чхало, Н. И.; Шмаенок, Л. А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 05.08.2024
Число запросов	41499
Число посетителей	1
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)