Библиотека Амурского Государственного Университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Шлюз Z39.50

Базы данных

БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска

БД "Книги"

БД "Статьи"

Труды АМГУ

Выпускные квалификационные работы

Антитеррор

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=прямое распыление<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Манухин, В. В.
Методы инвариантного погружения в теории распыления тонких пленок легкими ионами [Текст] / В. В. Манухин, А. А. Барат, М. К. Губкин // Известия РАН. Серия физическая. - 2010. - Т. 74. N 2. - С. 254-261. - Библиогр.: c. 261 (24 назв. ) . - ISSN 0367-6765

УДК

^a539.534.9

ББК 30.121
Рубрики: Техника
Сопротивление материалов
Кл.слова (ненормированные):
Больцмана кинетическое уравнение -- инвариантное погружение -- кинетическое уравнение Больцмана -- легкие ионы -- метод дискретных потоков -- многослойные структуры -- обратное распыление -- прямое распыление -- теория распыления тонких пленок легкими ионами -- тонкие пленки -- энергетические спектры распыления
Аннотация: Получены аналитические выражения для энергетических спектров распыленных атомов при бомбардировке плоскопараллельного слоя потоками легких ионов. В основе представленной теории лежит принцип инвариантного погружения, примененный совместно с методом дискретных потоков. Данный подход позволяет абсолютно точно удовлетворить граничным условиям кинетического уравнения Больцмана, при этом может быть описано как обратное распыление, так и прямое распыление "напрострел". Предложенная методика решения задачи о распылении плоскопараллельного слоя позволяет перейти к изучению спектров распыления многослойных структур, причем может быть учтен ряд особенностей, присущих распылению именно легкими ионами.

Доп.точки доступа:
Барат, А. А.; Губкин, М. К.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 30.06.2024
Число запросов	35227
Число посетителей	1
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)