Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска
БД "Книги"
БД "Статьи"
Труды АМГУ
Выпускные квалификационные работы
Антитеррор
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=проекционная экстремально ультрафиолетовая литография<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


   
    Многослойные зеркала La/B[4]C для спектральной области вблизи 6.7 нм [Текст] / М. М. Барышева [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2013. - Т. 77, № 1. - С. 29-32. - Библиогр.: с. 32 (5 назв. ) . - ISSN 0367-6765
УДК
^a621.793.164
ББК 34.64
Рубрики: Машиностроение
   Соединения деталей машин
Кл.слова (ненормированные):
барьерные слои -- коэффициенты отражения -- магнетронное распыление -- многослойные зеркала -- проекционная экстремально ультрафиолетовая литография -- спектральная селективность -- шероховатость поверхности
Аннотация: Представлены результаты измерений коэффициентов отражения многослойных зеркал La/B[4]C с барьерными слоями углерода и скандия. Показано, что большее отражение достигается при осаждении слоя углерода на карбид бора. Эффект достигается вследствие уменьшения поглощения в структуре и сокращения ширины переходных областей.


Доп.точки доступа:
Барышева, М. М.; Вайнер, Ю. А.; Зуев, С. Ю.; Полковников, В. Н.; Салащенко, Н. Н.; Стариков, С. Д.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 17.08.2024
Число запросов 134513
Число посетителей 1
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)