Библиотека Амурского Государственного Университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Шлюз Z39.50

Базы данных

БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска

БД "Книги"

БД "Статьи"

Труды АМГУ

Выпускные квалификационные работы

Антитеррор

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=пленки оксида тантала<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

Влияние материала подложки на свойства пленок оксида тантала [Текст] / В. М. Калыгина [и др. ] // Известия вузов. Физика. - 2010. - Т. 53, N 12. - С. 83-88. . - Библиогр.: c. 87-88 (10 назв. )

УДК

^a621.315.6

ББК 31.234
Рубрики: Энергетика
Электроизолирующие материалы и изделия
Кл.слова (ненормированные):
диэлектрическая проницаемость -- диэлектрические слои -- кислородная плазма -- оксид тантала -- пленки оксида тантала -- тангенс угла диэлектрических потерь
Аннотация: Исследовано влияние материала подложки на электрические характеристики пленок Ta[x]O[y], полученных ВЧ-магнетронным распылением мишени, изготовленной из оксида тантала. Установлено влияние кислородной плазмы на токи утечки, величину диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлектрических потерь тонких слоев (300-400 нм) Та[x]O[y]. Предложено использовать обработку пленок оксида тантала в кислородной плазме для управления их электрическими и диэлектрическими характеристиками.

Доп.точки доступа:
Калыгина, В. М.; Зарубин, А. Н.; Новиков, В. А.; Петрова, Ю. С.; Скакунов, М. С.; Толбанов, О. П.; Тяжев, А. В.; Яскевич, Т. М.
Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден)

Найти похожие

Перевалов, Т. В.
Моделирование ab initio электронной структуры кристаллических модификаций Ta[2]O[5] [Текст] / Т. В. Перевалов, А. В. Шапошников // Журнал экспериментальной и теоретической физики. - 2013. - Т. 143, вып. 6. - С. 1153-1160. - Библиогр.: с. 1159-1160 . - ISSN 0044-4510

УДК

^a530.1

ББК 22.31
Рубрики: Физика
Теоретическая физика
Кл.слова (ненормированные):
тантал -- оксид тантала -- Ta[2]O[5] -- диэлектрики -- пленки оксида тантала -- проводимость пленок -- электронная структура -- структура кристаллических модификаций -- модификации оксида тантала -- моделирование структуры
Аннотация: Проведено моделирование ab initio электронной структуры перспективного для микроэлектроники диэлектрика оксида тантала в кристаллических бета- и дельта-фазах.

Доп.точки доступа:
Шапошников, А. В.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 12.09.2024
Число запросов	30827
Число посетителей	1
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)