Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска
БД "Книги"
БД "Статьи"
Труды АМГУ
Выпускные квалификационные работы
Антитеррор
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=плазменные магнетронные технологии<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


   
    Ионно-плазменная генерация тонкого TiN-покрытия фольги электролитических конденсаторов [Текст] / Г. В. Ходаченко [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2010. - Т. 74. N 2. - С. 277-283. - Библиогр.: c. 283 (5 назв. ) . - ISSN 0367-6765
УДК
^a533.924
ББК 22.333
Рубрики: Физика
   Электронные и ионные явления. Физика плазмы
Кл.слова (ненормированные):
азотная плазма -- алюминиевая фольга -- высокочастотные индуктивные разряды -- защитные покрытия -- ионно-плазменная генерация -- конденсаторная катодная фольга -- плазменные магнетронные технологии -- пленка TiN -- поверхности -- тонкие пленки -- фольга -- электролитические конденсаторы
Аннотация: Представлены результаты исследований защитных покрытий TiN, формируемых на наноструктурированной катодной фольге с помощью плазменных магнетронных технологий и при облучении азотной плазмой высокочастотного индуктивного (ВЧИ) разряда. Показано их влияние на структуру покрытий. Проведено исследование возможности управления энергией и потоком ионов из плазмы ВЧИ-разряда на заземленную подложку. Показано, что при неизолированных стенках камеры и низких давлениях такие режимы не реализуются.


Доп.точки доступа:
Ходаченко, Г. В.; Писарев, А. А.; Крашевская, Г. В.; Щелканов, И. А.; Орлов, И. Е.; Соколов, А. Ю.; Казиев, А. В.; Атаманов, М. В.; Юрченко, А. А.; Купцов, К. А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 29.06.2024
Число запросов 51288
Число посетителей 1
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)