Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=парно-симметричные детекторы<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Потапкин, О. Д.
    Анализ коэффициента сбора РЭМ [Текст] / О. Д. Потапкин, А. А. Мельников // Известия РАН. Серия физическая. - 2012. - Т. 76, № 9. - С. 1099-1102. - Библиогр.: c. 1102 (9 назв. ) . - ISSN 0367-6765
УДК
ББК 22.338
Рубрики: Физика
   Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях

Кл.слова (ненормированные):
вторичные электроны -- детекторы Эверхарта-Торнли -- Дирихле задача -- задача Дирихле -- отраженные электроны -- парно-симметричные детекторы -- растровая электронная микроскопия -- численные методы -- Эверхарта-Торнли детекторы
Аннотация: Решена задача Дирихле для расчета электростатического поля парно-симметричных детекторов Эверхарта-Торнли, расположенных под полюсным наконечником объективной линзы. Численными методами найдены траектории вторичных и отраженных электронов. Построены диаграммы эффективности сбора для разных значений отношения длины рабочего отрезка к диаметру полюсного наконечника. Результаты полезны при проведении линейных измерений наноразмерных структур.


Доп.точки доступа:
Мельников, А. А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

 
Статистика
за 12.09.2024
Число запросов 27714
Число посетителей 1
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)