Библиотека Амурского Государственного Университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Шлюз Z39.50

Базы данных

БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска

БД "Книги"

БД "Статьи"

Труды АМГУ

Выпускные квалификационные работы

Антитеррор

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=осаждение пленок<.>)

Общее количество найденных документов : 3
Показаны документы с 1 по 3

Мартенс, В. Я.
Синтез алмазоподобных пленок углерода с помощью ионного источника на основе отражательного разряда с полым катодом [Текст] / В. Я. Мартенс, В. А. Тарала, Е. Ф. Шевченко // Перспективные материалы. - 2011. - № 3. - С. 40-45 : 5 рис. - Библиогр.: с. 45 (10 назв. ) . - ISSN 1028-978Х

УДК

^a533.9

ББК 22.333
Рубрики: Физика
Электронные и ионные явления. Физика плазмы
Кл.слова (ненормированные):
алмазоподобные пленки углерода -- плазма -- газовый разряд -- осаждение пленок -- ионный источник -- исследование пленок
Аннотация: Проведено осаждение тонких алмазоподобных пленок на подложку из кремния с помощью ионного источника на основе отражательного разряда с холодным полым катодом. Осаждение проводили при различных условиях: варьировали давление (12 – 50 мПа) и состав (С3Н8, СН4, Н2) плазмообразующего газа, напряжение ускоряющего промежутка в диапазоне 0, 5 – 5 кВ, температура подложки в диапазоне 20 – 850 °С. Синтезированные пленки исследовали методами инфракрасной (ИК) спектроскопии, спектроскопии комбинационного рассеяния света (КРС) и склерометрии.

Доп.точки доступа:
Тарала, В. А.; Шевченко, Е. Ф.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Шупегин, М. Л.
Осаждение пленок металлсодержащих нанокомпозитов с кремний-углеродной матрицей [Текст] / М. Л. Шупегин // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. - 2013. - Т. 79, № 2. - С. 28-32. - Библиогр.: с. 32 (5 назв. ) . - ISSN 1028-6861

УДК

^a544.55

^a539.2

ББК 24.55 + 22.37
Рубрики: Химия
   Химия плазмы
   Физика
   Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Кл.слова (ненормированные):
осаждение пленок -- металлсодержащие нанокомпозиты -- кремний-углеродные матрицы -- кинетика роста пленок -- нанокомпозитные пленки -- плазмотроны -- магнетроны -- полифенилметилсилоксан -- технологии синтеза -- скорость роста пленок
Аннотация: Описаны особенности осаждения пленок металлсодержащих нанокомпозитов с кремний-углеродной матрицей, исследована кинетика роста пленок при разных режимах работы установки.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Структура вакантных электронных состояний поверхности окисленного германия при осаждении пленок перилен-тетракарбонового диангидрида [Текст] / А. С. Комолов [и др.] // Физика твердого тела. - 2016. - Т. 58, вып. 2. - С. 367-371 : 5 рис. - Библиогр. в конце ст. (35 назв.) . - ISSN 0367-3294

УДК

^a539.2

ББК 22.37
Рубрики: Физика
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Кл.слова (ненормированные):
вакантные состояния -- германий -- диангидриды -- кристаллография в целом -- окисленный германий -- осаждение пленок -- перилен-тетракарбоновый диангидрид -- структура поверхностей -- электронные состояния
Аннотация: Приведены результаты исследования пограничного потенциального барьера и вакантных электронных состояний в энергетическом диапазоне от 5 до 20 eV выше уровня Ферми при осаждении на поверхность окисленного германия пленок перилен-тетракарбонового диангидрида.

Доп.точки доступа:
Комолов, А. С.; Лазнева, Э. Ф.; Герасимова, Н. Б.; Панина, Ю. А.; Барамыгин, А. В.; Зашихин, Г. Д.; Пшеничнюк, С. А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 10.07.2024
Число запросов	149619
Число посетителей	1
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)