Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска
БД "Книги"
БД "Статьи"
Труды АМГУ
Выпускные квалификационные работы
Антитеррор
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=обработка полупроводниковых структур<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Васин, В. А.
    Контрольно-навигационная система современного сверхвысоковакуумного аналитико-технологического комплекса [Текст] / В. А. Васин, Е. Н. Ивашов, С. В. Степанчиков // Контроль. Диагностика. - 2012. - № 5. - С. 71-74. - Библиогр.: с. 74 (7 назв. ) . - ISSN 0201-7032
УДК
^a004.8
ББК 32.813
Рубрики: Радиоэлектроника
   Искусственный интеллект. Экспертные системы
Кл.слова (ненормированные):
контрольно-навигационные системы -- сверхвысоковакуумные комплексы -- аналитико-технологические комплексы -- системы координат -- обработка полупроводниковых структур -- полупроводниковые структуры -- l-координатные системы -- абсолютные координаты -- системы обратной связи
Аннотация: Рассмотрены устройства для определения положения исполнительных систем оборудования в пространстве, в которых положение и движение определяются непосредственно в абсолютных координатах. Предложена контрольно-навигационная система для сверхвысоковакуумного аналитико-технологического комплекса обработки полупроводниковых структур в замкнутом цикле.


Доп.точки доступа:
Ивашов, Е. Н.; Степанчиков, С. В.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 18.07.2024
Число запросов 53450
Число посетителей 1
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)