Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=морфологическая неустойчивость<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Яфаров, Р. К.
    Морфологическая неустойчивость поверхности кристаллов кремния (100) при СВЧ ионно-физическом травлении [Текст] / Р. К. Яфаров, В. Я. Шаныгин // Физика твердого тела. - 2016. - Т. 58, вып. 2. - С. 350-353 : 3 рис. - Библиогр. в конце ст. (7 назв.) . - ISSN 0367-3294
УДК
ББК 22.37
Рубрики: Физика
   Физика твердого тела. Кристаллография в целом

Кл.слова (ненормированные):
ионно-физическое травление -- кремний -- кристаллография в целом -- морфологическая неустойчивость -- неустойчивость поверхности -- травление кристаллов
Аннотация: Изложены результаты исследований динамики релаксационной модификации морфологических характеристик атомно-чистых поверхностей кристаллов кремния (100) различных типов проводимости после СВЧ ионно-физического травления в среде аргона.


Доп.точки доступа:
Шаныгин, В. Я.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

 
Статистика
за 10.07.2024
Число запросов 149898
Число посетителей 1
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)