Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=методы спектральной эллипсометрии<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


   
    Оптические свойства пленок HfO[ (2-x) ]N[x] и TiO[ (2-x) N[x], полученных методом ионно-лучевого распыления [Текст] / В. В. Атучин [и др. ] // Оптика и спектроскопия. - 2009. - Т. 106, N 1. - С. 77-82. : ил. - Библиогр.: с. 82 (14 назв. )
УДК
ББК 22.34
Рубрики: Физика
   Оптика в целом

Кл.слова (ненормированные):
оптические свойства пленок -- пленки -- методы спектральной эллипсометрии -- рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия -- ионно-лучевое распыление
Аннотация: Методом спектральной эллипсометрии исследованы оптические характеристики пленок HfO[ (2-x) ]N[x] и TiO[ (2-x) ]N[x], полученных методом реактивного ионно-лучевого распыления.


Доп.точки доступа:
Атучин, В. В.; Калинкин, А. В.; Алиев, В. Ш.; Рыхлицкий, С. В.; Швец, В. А.; Спесивцев, Е. В.; Кручинин, В. Н.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

 
Статистика
за 10.09.2024
Число запросов 29565
Число посетителей 1
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)