Библиотека Амурского Государственного Университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Шлюз Z39.50

Базы данных

БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска

БД "Книги"

БД "Статьи"

Труды АМГУ

Выпускные квалификационные работы

Антитеррор

Область поиска

в найденном

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=магнетронное распыление<.>)

Общее количество найденных документов : 40
Показаны документы с 1 по 20

1-20 21-40

Структура и свойства твердых и свертхтвердых нанокомпозитных покрытий [Текст] / А. Д. Погребняк [и др. ] // Успехи физических наук. - 2009. - Т. 179, N 1. - С. 35-64. : 21 рис., 3 табл. - Библиогр.: с. 61-64 (205 назв. )

ГРНТИ	29.19.22
УДК	^a539.2

ББК 22.37
Рубрики: Физика
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Кл.слова (ненормированные):
нанокомпозитные покрытия -- сверхтвердые покрытия -- твердые покрытия -- структура покрытий -- магнетронное распыление -- ионно-стимулированное осаждение -- вакуумно-дуговое осаждение
Аннотация: Рассмотрено несколько вариантов получения нанокомпозитных многокомпонентных покрытий методами магнетронного распыления, ионно-стимулированного и вакуумно-дугового осаждения. Дается классификация твердых и сверхтвердых покрытий с высокой термической стабильностью. Показаны возможные применения наноструктурированных покрытий.

Доп.точки доступа:
Погребняк, А. Д.; Шпак, А. П.; Азаренков, Н. А.; Берсенев, В. М.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Характеристики плазмы несбалансированной магнетронной распылительной системы и их влияние на параметры покрытий ZnO: Ga [Текст] / А. А. Соловьев [и др. ] // Физика и химия обработки материалов. - 2009. - N 2. - С. 58-65.

УДК

^a533.9

ББК 22.333
Рубрики: Физика
Электронные и ионные явления. Физика плазмы
Кл.слова (ненормированные):
распылительные системы -- плазма -- катоды -- магнетронные распылительные системы -- тонкие пленки -- магнетронное распыление -- проводящие оксиды -- системы с электромагнитной катушкой -- несбалансированные магнетронные распылительные системы -- оксид цинка -- легирование -- галлий
Аннотация: Экспериментально изучены характеристики магнетронной распылительной системы с электромагнитной катушкой, позволяющей реализовывать различные конфигурации магнитного поля над поверхностью катода. Исследовано влияние режимов магнетронного распыления на свойства легированных галлием пленок оксида цинка.

Доп.точки доступа:
Соловьев, А. А.; Захаров, А. Н.; Работкин, С. В.; Оскомов, К. В.; Сочугов, Н. С.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Микроструктура и оптические свойства тонких пленок оксида цинка, полученных методом магнетронного распыления цинковой мишени [Текст] / О. В. Гончарова [и др. ] // Физика и химия обработки материалов. - 2009. - N 6. - С. 20-25 . - ISSN 0015-3214

УДК

^a539.107

^a539.21:535

ББК 22.381 + 22.374
Рубрики: Физика
Экспериментальные методы и аппаратура ядерной физики
Оптические свойства твердых тел
Кл.слова (ненормированные):
мишени -- цинковые мишени -- тонкие пленки -- магнетронное распыление -- оксид цинка -- высокопрозрачные пленки -- атомно-силовая микроскопия -- рентгеновский дифракционный анализ -- полупроводниковые микрокристаллы -- тонкопленочные матрицы -- реактивное магнетронное распыление -- кристаллические структуры -- аморфные подложки -- высокоупорядоченные кристаллические структуры -- солнечные элементы -- текстурированные лицевые поверхности
Аннотация: С целью разработки методов изготовления высокопрозрачных пленок оксида цинка с контролируемой величиной удельного сопротивления изучены их микроструктурные и спектральные свойства.

Доп.точки доступа:
Гончарова, О. В.; Леонова, Т. Р.; Гременок, В. Ф.; Болодон, В. Н.; Дымонт, В. П.; Ташлыков, И. С.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Исследование покрытий, осажденных при вакуумно-дуговом испарении спеченных порошковых катодов титан-кремний [Текст] / Г. А. Прибытков [и др. ] // Физика и химия обработки материалов. - 2009. - N 6. - С. 34-40 . - ISSN 0015-3214

УДК

^a620.1/.2

^a539.2

ББК 30.3 + 22.37
Рубрики: Техника
   Материаловедение
   Физика
   Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Кл.слова (ненормированные):
покрытия -- спеченные порошковые катоды -- титан -- кремний -- спеченные катоды -- вакуумно-дуговое испарение -- магнетронное распыление -- катодное распыление -- многокомпонентная плазма -- наноструктурные покрытия -- ионно-плазменные покрытия -- прессованные смеси порошков
Аннотация: Исследованы микроструктура и фазовый состав катодов, спеченных из прессованных смесей порошков титана и кремния, а также ионно- плазменные покрытия, полученные вакуумно-дуговым распылением спеченных катодов.

Доп.точки доступа:
Прибытков, Г. А.; Гурских, А. В.; Шулаев, В. М.; Андреев, А. А.; Коржова, В. В.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Успенская, Л. С.
Асимметричная динамика доменных границ в тонких обменно-связанных пленках ферромагнетика [Текст] / Л. С. Успенская // Известия РАН. Серия физическая. - 2010. - Т. 74, N 5. - С. 744-746. . - Библиогр.: c. 746 (10 назв. )

УДК

^a537.61

ББК 22.334
Рубрики: Физика
Магнетизм
Кл.слова (ненормированные):
динамические характеристики -- доменные границы -- квазистатические характеристики -- кинетика перемагничивания -- магнетронное распыление -- метод магнитооптической визуализации магнитного потока -- обменно-связанные пленки -- перемагничивание -- ферромагнетики -- эффекты переключения
Аннотация: Кинетика перемагничивания двухслойных гибридных структур, состоящих из обменно-связанных FeNi- и FeMn-слоев изучена с помощью метода магнитооптической визуализации магнитного потока. Установлено, что не только квазистатические, но и динамические характеристики перемагничивания таких структур зависят от полярности магнитного поля, приложенного вдоль легкой оси. Обнаружено, что скорость процессов экспоненциально растет с полем для обеих полярностей, но при этом инверсия поля изменяет скорость в десятки раз. Показано, что такое различие определяется и изменением времени зарождения границ и изменением скоростей их движения при инверсии поля.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Длительные испытания системы La-Sr-Mn катод-стальной токовый коллектор с Mn-Cо-O покрытием, нанесенным методом магнетронного распыления [Текст] / Н. В. Гаврилов [и др. ] // Физика и химия обработки материалов. - 2010. - N 4. - С. 44-50.

УДК

^a621.793

ББК 34.64
Рубрики: Машиностроение
Соединения деталей машин
Кл.слова (ненормированные):
шпинельное покрытие -- магнетронное распыление -- топливные элементы -- твердооксидные электролиты -- ферритные нержавеющие стали
Аннотация: Результаты длительных испытаний структуры La-Sr-Mn катод-стальной токовый коллектор с покрытием при рабочих температурах и токовой нагрузке, характерных для твердооксидного топливного элемента, показали, что применение покрытия из Mn1, 5Co1, 5O4 шпинели, полученного методом магнетронного распыления, и контактной пасты обеспечивает стабильное удельное поверхностное сопротивление контакта.

Доп.точки доступа:
Гаврилов, Н. В.; Иванов, В. В.; Каменецких, А. С.; Липилин, А. С.; Мамаев, А. С.; Никонов, А. В.; Ремпель, А. А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Экспериментальное определение потенциалов электронного экранирования для реакции d (d, n) {3}He в ZrD[2] и D[2]O [Текст] / В. М. Быстрицкий [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2010. - Т. 74, N 11. - С. 1635-1639. . - Библиогр.: c. 1639 (18 назв. )

УДК

^a539.172.13

ББК 22.38
Рубрики: Физика
Ядерная физика в целом
Кл.слова (ненормированные):
астофизические S-факторы -- вымораживание тяжелой воды -- дейтерид циркония -- импульсный ускоритель Холла -- легкие ядра -- магнетронное распыление -- тяжелая вода -- ультранизкие энергии -- Холла импульсный ускоритель -- электронное экранирование -- ядерные реакции
Аннотация: Работа посвящена измерению значений астрофизических S-факторов для реакции d (d, n) {3}He и потенциалов электронного экранирования дейтронов, взаимодействующих в области ультранизких энергий столкновения в дейтериде циркония ZrD[2] (3. 5-7. 0 кэВ) и тяжелой воде D[2]O (2. 2-6. 0 кэВ). Эксперимент выполнен в НИИЯФ (Томск) с использованием импульсного плазменного ускорителя Холла и мишеней из ZrD[2] и D[2]O, полученными методом магнетронного распыления циркония в среде дейтерия и путем вымораживания тяжелой воды на медной подложке соответственно. В результате хи{2}-анализа измеренных зависимостей выходов нейтронов и астрофизических S-факторов для dd-реакции от энергии столкновения дейтронов E на 90% уровне достоверности найдены верхние граничные значения потенциалов электронной экранировки взаимодействующих дейтронов в ZrD[2] и D[2]O, а также значения астрофизических факторов при энергии столкновения дейтронов E = 0: U[e] (ZrD[2]) < 30 эВ; U[e] (D[2]O) < 25 эВ; S (0) = (57. 2 +минус 3. 9) кэВ x б (ZrD[2]) ; S (0) = (58. 6 +минус 3. 6) кэВ x б (D[2]O).

Доп.точки доступа:
Быстрицкий, В. М.; Герасимов, В. В.; Ильгузин, Д. А.; Крылов, А. Р.; Паржицкий, С. С.; Ананьин, П. С.; Дудкин, Г. Н.; Каминский, В. Л.; Нечаев, Б. А.; Падалко, В. Н.; Петров, А. В.; Филипович, М.; Возняк, Я.; Быстрицкий, Вит. М.; Тулеушев, Ю. Ж.; НИИЯФ; НИИ ядерной физики Томского Политехнического университета

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Магнито-химические эффекты при обработке в кислой среде поверхности тонких ферромагнитных пленок [Текст] / А. В. Агапонова [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 2. - С. 200-202. . - Библиогр.: с. 202 (7 назв. )

УДК

^a537.632

ББК 22.334
Рубрики: Физика
Магнетизм
Кл.слова (ненормированные):
доменная структура -- магнетронное распыление -- магнитные свойства -- магнитооптические исследования -- магнито-химические эффекты -- поверхности -- тонкие пленки -- феррит-гранатовые пленки -- химическое травление
Аннотация: В работе представлены результаты магнитооптических исследований влияния магнито-химических эффектов на морфологию поверхности и локальные магнитные свойства тонких пленок сплава FeN и тонкопленочных систем, представляющих собой чередующиеся слои оксида кремния и FeN субмикронной толщины. Обнаружено сильное влияние химического травления изучаемых образцов при наличии магнитного поля на морфологию их поверхностей и магнитные характеристики.

Доп.точки доступа:
Агапонова, А. В.; Шалыгина, Е. Е.; Тараканова, О. Н.; Быков, И. В.; Маклаков, С. А.; Пухов, А. А.; Рыжиков, И. А.; Седова, М. В.; Якубов, И. Т.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Никитин, М. М.
Магнетронное распыление: эволюция схем напыления и ионизация потоков, взаимодействующих с подложкой [Текст] / М. М. Никитин // Физика и химия обработки материалов. - 2011. - N 2. - С. 27-36.

УДК

^a621.77.016

ББК 34.51/59
Рубрики: Машиностроение
Обработка металлов
Кл.слова (ненормированные):
магнетронное распыление -- ионно-активированное напыление -- плазменные потоки -- подложки -- металлические пленки -- композиционные пленки
Аннотация: Рассмотрено развитие методики ионно-активированного напыления с использованием магнетронных источников распыления с целью расширения плазменного потока в направлении подложки и повышения соотношения ион-атом. Обсуждены возможности использования магнитных полей для формирования плазменных потоков. Показано, что установки с системой магнетронов, работающих в схеме замкнутого магнитного поля, позволяют реализовывать высокопроизводительный процесс получения качественных металлических и композиционных пленок.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

10.

Шикова, Т. Г.
Исследование характеристик пленок оксида олова, полученных термическим окислением металлических пленок [Текст] / Т. Г. Шикова, И. В. Холодков, Е. Н. Таланов // Физика и химия обработки материалов. - 2011. - N 6. - С. 88-92.

УДК

^a621.78

ББК 34.65
Рубрики: Машиностроение
Упрочнение металлов
Кл.слова (ненормированные):
оксиды олова -- термическое окисление -- морфология поверхности -- электрические свойства оксидных слоев -- оптические свойства оксидных слоев -- термическое испарение в вакууме -- магнетронное распыление -- двухступенчатый отжиг -- нестехиометрические оксиды
Аннотация: Исследованы электрические и оптические свойства и морфология оксидных слоев SnO, полученных термическим окислением пленок олова, осажденных методами термического испарения в вакууме и магнетронного распыления. Показано, что в результате двухступенчатого отжига на воздухе (200 и 400 градусов Цельсия) прозрачность пленок увеличивается до 70-80%, а их поверхностное сопротивление увеличивается после окисления при температуре 200 градусов Цельсия и уменьшается после повторного отжига при 400 градусов Цельсия. Уменьшение сопротивления связано с образованием нестехиометрического оксида с избытком атомов олова и вакансиями кислорода. Структура пленок зависит от их толщины и режимов отжига.

Доп.точки доступа:
Холодков, И. В.; Таланов, Е. Н.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

11.

Каменева, А. Л.
Улучшение износостойких и антифрикционных свойств пленок на основе TiN путем оптимизации технологии их формирования методом магнетронного распыления [Текст] / А. Л. Каменева, Д. М. Караваев, Т. О. Сошина // Упрочняющие технологии и покрытия. - 2012. - № 3. - С. 34-38 : 3 табл., 14 рис. - Библиогр.: с. 38 (3 назв. ) . - ISSN 1813-1336

УДК

^a621.7

ББК 30.68
Рубрики: Техника--Россия
Обработка материалов
Кл.слова (ненормированные):
покрытия -- магнетронное распыление -- магнетронное напыление -- метод магнетронного распыления -- твердые износостойкие покрытия -- пленки -- пленки TiN -- упрочняющие пленки
Аннотация: Установлены закономерности изменения износостойких и антифрикционных свойств и изнашивающей способности пленок на основе TiN в процессе магнетронного распыления под влиянием технологических условий их формирования. Получены зависимости указанных параметров, позволяющие прогнозировать свойства антифрикционных и износостойких пленок, оптимизировать процесс получения и максимально увеличить их эффективность.

Доп.точки доступа:
Караваев, Д. М.; Сошина, Т. О.
Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден)

Найти похожие

12.

Кашин, А. С.
Формирование наноразмерных покрытий и наночастиц металлов путем магнетронного распыления и их исследование методом сканирующей электронной микроскопии [Текст] / А. С. Кашин, В. П. Анаников // Известия РАН. Серия химическая. - 2011. - № 12. - С. 2551-2556 : 6 рис. - Библиогр.: с. 2556 (17 назв. ) . - ISSN 0002-3353

УДК

^a539.2

ББК 22.37
Рубрики: Физика
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Кл.слова (ненормированные):
наночастицы -- нанопленки -- магнетронное распыление -- сканирующая электронная микроскопия
Аннотация: Показана возможность использования магнетронного распыления для формирования металлических наноразмерных покрытий и наночастиц металлов, которые могут найти применение при разработке новых методов органической химии. С помощью сканирующей электронной микроскопии установлена морфология полученных наноразмерных объектов в диапазоне размеров 5-100 нм. Охарактеризована зависимость морфологии и размера получающихся наноразмерных объектов от типа поверхности носителя, металла и условий распыления.

Доп.точки доступа:
Анаников, В. П.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

13.

Исследование фазового и элементного состава покрытий на основе кремнийсодержащего гидроксиапатита для медицинских имплантатов, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления [Текст] / М. А. Сурменева [и др.] // Физика и химия обработки материалов. - 2012. - № 3. - С. 51-60 . - ISSN 0015-3214

УДК

^a533.9

ББК 22.333
Рубрики: Физика
Электронные и ионные явления. Физика плазмы
Кл.слова (ненормированные):
гидроксиапатиты -- кремнийсодержащие гидроксиапатиты -- механохимический синтез -- биосовместимые покрытия -- магнетронное распыление -- керамические технологии -- механоактивированные порошки -- однофазные механоактивированные порошки -- порошки-прекурсоры -- апатиты -- фосфат-ионы -- двухфазные мишени -- анионы силикатов -- осаждение покрытий -- спектроскопия
Аннотация: Методами РФА, ИК-спектроскопии и РЭМ исследованы фазовый состав и структура покрытий на основе кремнийсодержащего гидроксиапатита (ГА), полученных методом ВЧ-магнетронного распыления. Установлено, что мишень для распыления, приготовленная по керамической технологии из однофазного механоактивированного порошка-прекурсора, является двухфазной (апатит + трикальций фосфат). Структура покрытия, полученного при распылении двухфазной мишени, является однофазной (ГА) и текстурированной в направлении (002). В процессе осаждения покрытия происходит частичное замещение фосфат-ионов в решетке апатита анионами силиката.

Доп.точки доступа:
Сурменева, М. А.; Сурменев, Р. А.; Чайкина, М. В.; Качаев, А. А.; Пичугин, В. Ф.; Эппле, М.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

14.

Бугаев, Е. А.
Структура, магнитные свойства и термическая стойкость многослойных наноразмерных пленочных композиций Со—С [Текст] / Е. А. Бугаев // Материаловедение. - 2012. - № 5. - С. 30-35 . - ISSN 1684-579Х

УДК

^a539.2

ББК 22.37
Рубрики: Физика
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Кл.слова (ненормированные):
кобальт -- магнетронное распыление -- аморфные сплавы -- намагниченность -- отжиг -- нанокомпозиции -- пленочные нанокомпозиции
Аннотация: Установлено, что структурное состояние слоев кобальта в пленочных нанокомпозициях Со-С существенно зависит от их толщины. При толщине до 5 нм слои кобальта представляют собой аморфный сплав СохСy, при большей толщине кобальт кристаллизуется в монокристаллические ГПУ-слои, ориентированные осью с перпендикулярно пленке. Аморфные слои кобальта демонстрируют магнитомягкие магнитные свойства и имеют высокую намагниченность насыщения. Определен механизм разрушения композиций Co-C при нагреве, которым является межслоевое объединение кобальта при температуре отжига более 300 градусов Цельсия.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

15.

Свойства низкоэмиссионных покрытий на основе Ag и Сu, нанесенных на полимерную пленку методом магнетронного распыления [Текст] / А. Н. Захаров [и др.] // Перспективные материалы. - 2012. - № 2. - С. 62-70 : 6 рис., 2 табл. - Библиогр.: с. 69 (16 назв. ) . - ISSN 1028-978Х

УДК

^a539.2

ББК 22.37
Рубрики: Физика
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Кл.слова (ненормированные):
низкоэмиссионные покрытия -- полимерная пленка -- ПЭТФ -- полиэтилентерефталатные пленки -- магнетронное распыление -- энергосберегающие технологии -- многослойные структуры
Аннотация: Приведены результаты экспериментов по нанесению на полиэтилентерефталатную (ПЭТФ) пленку многослойных низкоэмиссионных покрытий со структурой "оксид – металл – оксид” методом магнетронного распыления. Исследованы составы покрытий, которые бы обеспечили их высокую влагостойкость и возможность эксплуатации вне герметичных стеклопакетов.

Доп.точки доступа:
Захаров, А. Н.; Ковшаров, Н. Ф.; Оскомов, К. В.; Работкин, С. В.; Соловьев, А. А.; Сочугов, Н. С.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

16.

Кудряков, О. В.
Мониторинг начальных стадий эрозионного износа ионно-плазменных покрытий при каплеударном воздействии [Текст] / О. В. Кудряков, В. Н. Варавка // Упрочняющие технологии и покрытия. - 2012. - № 10. - С. 40-47 : 6 рис. - Библиогр.: с. 47 (11 назв. ). - Подстроч. сноски . - ISSN 1813-1336

УДК

^a621.7

^a621.165+621.438

ББК 30.68 + 31.363
Рубрики: Техника--Россия
   Обработка материалов
   Энергетика
   Турбомашины
Кл.слова (ненормированные):
покрытия -- TiN -- ионно-плазменные покрытия -- стали -- аустенитные стали -- эрозионный износ -- нитриды титана -- турбинные лопатки -- каплеударная эрозия -- кавитация -- PVD-технологии -- магнетронное распыление -- стендовые испытания
Аннотация: Приведены данные эрозионных стендовых испытаний образцов из аустенитной стали с TiN-покрытием, полученным по PVD-технологии с магнетронным распылением. Показано, что механизм эрозионного износа покрытия включает несколько составляющих - механическую и гидродинамическую.

Доп.точки доступа:
Варавка, В. Н.
Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден)

Найти похожие

17.

Структура, морфология и физико-механические свойства нано- и микроструктурных покрытий из Al2O3 и ZrO2 [Текст] / А. Д. Погребняк [и др.] // Физика и химия обработки материалов. - 2012. - № 5. - С. 59-65 . - ISSN 0015-3214

УДК

^a539.2

ББК 22.37
Рубрики: Физика
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Кл.слова (ненормированные):
оксиды алюминия -- оксиды циркония -- адгезия -- магнетронное распыление -- шероховатость -- нанотвердость -- коэффициенты трения -- оксидные покрытия -- мишени -- наноструктурные пленки -- магнетронное распыление мишеней -- осаждение -- стальные подложки -- силы когезии -- модули упругости
Аннотация: Методами АСМ, измерения нанотвердости, модуля упругости, сил когезии и коэффициента трения исследованы оксидные покрытия из Al2O3 и ZrO2, полученные с помощью магнетронного распыления мишеней из Al и Zr соответственно. Обнаружено увеличение твердости покрытия из Al2O3, нанесенного на наноструктурную пленку TiN, по сравнению с покрытием, осажденным на стальную подложку.

Доп.точки доступа:
Погребняк, А. Д.; Береснев, В. М.; Ильяшенко, М. В.; Каверина, А. Ш.; Якущенко, И. В.; Плотников, С. В.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

18.

Многослойные зеркала La/B[4]C для спектральной области вблизи 6.7 нм [Текст] / М. М. Барышева [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2013. - Т. 77, № 1. - С. 29-32. - Библиогр.: с. 32 (5 назв. ) . - ISSN 0367-6765

УДК

^a621.793.164

ББК 34.64
Рубрики: Машиностроение
Соединения деталей машин
Кл.слова (ненормированные):
барьерные слои -- коэффициенты отражения -- магнетронное распыление -- многослойные зеркала -- проекционная экстремально ультрафиолетовая литография -- спектральная селективность -- шероховатость поверхности
Аннотация: Представлены результаты измерений коэффициентов отражения многослойных зеркал La/B[4]C с барьерными слоями углерода и скандия. Показано, что большее отражение достигается при осаждении слоя углерода на карбид бора. Эффект достигается вследствие уменьшения поглощения в структуре и сокращения ширины переходных областей.

Доп.точки доступа:
Барышева, М. М.; Вайнер, Ю. А.; Зуев, С. Ю.; Полковников, В. Н.; Салащенко, Н. Н.; Стариков, С. Д.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

19.

Структура наноразмерных пленок углерода и карбида кремния на кремнии, полученных магнетронным и ионно-лучевым распылением мишени [Текст] / И. К. Бейсембетов [и др.] // Наноматериалы и наноструктуры - XXI век. - 2012. - № 4. - С. 30-35 : табл., рис. - Библиогр.: c. 34 (19 назв. ) . - ISSN 2225-0999

УДК

^a539.2

^a537

ББК 22.37 + 22.33
Рубрики: Физика
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Электричество и магнетизм в целом
Кл.слова (ненормированные):
двухкомпонентные мишени -- ионно-лучевое распыление -- карбид кремния -- кремний -- магнетронное распыление -- наноразмерные пленки -- наноразмерные пленки карбида кремния -- наноразмерные пленки углерода -- пленки beta-SiC -- распыление мишеней -- углерод -- углеродные пленки
Аннотация: Исследована структура наноразмерных алмазоподобных углеродных пленок, полученных на поверхности кремния методом магнетронного распыления графита и пленки beta-SiC, полученной путем синтеза при ионно-лучевом распылении двухкомпонентной мишени кремния и графита; проведено математическое моделирование, результаты которого согласуются с экспериментальными.

Доп.точки доступа:
Бейсембетов, И. К.; Нусупов, К. Х.; Бейсенханов, Н. Б.; Жариков, С. К.; Кенжалиев, Б. К.; Ахметов, Т. К.; Ивлев, Р.
Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден)

Найти похожие

20.

Синтез и исследование пористых Ni – Al подложек для твердооксидных топливных элементов [Текст] / А. А. Соловьев [и др.] // Перспективные материалы. - 2013. - № 4. - С. 31-38 : 8 рис. - Библиогр.: с. 37 (18 назв. ) . - ISSN 1028-978Х

УДК

^a536.7

^a544.6

ББК 22.317 + 24.57
Рубрики: Физика
   Термодинамика и статистическая физика
   Химия
   Электрохимия
Кл.слова (ненормированные):
самораспространяющийся высокотемпературный синтез -- твердооксидные топливные элементы -- высокотемпературный синтез -- ZrO[2]: Y[2]O[3] электролит -- магнетронное распыление
Аннотация: Метод самораспространяющегося высокотемпературного синтеза (СВС) применен для изготовления пористых несущих Ni – Al основ твердооксидных топливных элементов. Исследовано влияние условий синтеза и состава исходных порошков на фазовый состав, микроструктуру, пористость, газопроницаемость, коррозионную стойкость и другие свойства полученных Ni – Al образцов.

Доп.точки доступа:
Соловьев, А. А.; Сочугов, Н. С.; Ионов, И. В.; Кирдяшкин, А. И.; Китлер, В. Д.; Мазной, А. С.; Максимов, Ю. М.; Сигфуссон, Т. И.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

1-20 21-40

Тематический навигатор

Статистика за 11.07.2024
Число запросов	143101
Число посетителей	1
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)