Библиотека Амурского Государственного Университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Шлюз Z39.50

Базы данных

БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска

БД "Книги"

БД "Статьи"

Труды АМГУ

Выпускные квалификационные работы

Антитеррор

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=легирование ионами цинка<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Визуализация и идентификация наночастиц в Si, последовательно имплантированном ионами {64}Zn{+} и {16}О{+} [Текст] / В. В. Привезенцев [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2015. - Т. 79, № 11. - С. 1506-1513 : рис. - Библиогр.: c. 1513 (24 назв. ) . - ISSN 0367-6765

УДК

^a548.4

ББК 26.303
Рубрики: Геология
Минералогия
Кл.слова (ненормированные):
кремний -- легирование ионами цинка -- наночастицы -- оксид цинка -- рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия -- сканирующая просвечивающая электронная микроскопия -- энергодисперсионная спектроскопия
Аннотация: С помощью сканирующей просвечивающей электронной микроскопии (СПЭМ) в сочетании с энергодисперсионной спектроскопией (ЭДС) и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопией (РФЭС) проведены визуализация и идентификация наночастиц (НЧ) в приповерхностном слое Si, последовательно имплантированном ионами {64}Zn{+} и {16}О{+}. После имплантации в приповерхностном слое подложки выявлено наличие аморфизованной области толщиной 150 нм и нарушенного слоя толщиной 50 нм. После отжига в нейтрально-инертной атмосфере в температурном диапазоне 600-800°C в рекристаллизованном поликристаллическом слое кремния обнаружены НЧ оксида цинка ZnO со средним размером 8. 7 нм.

Доп.точки доступа:
Привезенцев, В. В.; Куликаускас, В. С.; Шемухин, А. Н.; Трифонов, А. Ю.; Кириленко, Е. П.; Батраков, А. А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 12.09.2024
Число запросов	31236
Число посетителей	1
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)