Библиотека Амурского Государственного Университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Шлюз Z39.50

Базы данных

БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска

БД "Книги"

БД "Статьи"

Труды АМГУ

Выпускные квалификационные работы

Антитеррор

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=ионно-пучковое травление<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

Развитие шероховатости сверхгладких поверхностей при ионно-пучковом травлении [Текст] / М. М. Барышева [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2012. - Т. 76, № 2. - С. 190-195. - Библиогр.: с. 195 (9 назв. ) . - ISSN 0367-6765

УДК

^a538.971

ББК 22.3
Рубрики: Физика
Общие вопросы физики
Кл.слова (ненормированные):
ионно-пучковое травление -- кристаллический кремний -- многослойная структура Cr/Sc -- многослойные структуры -- плавленый кварц -- сверхгладкие поверхности -- шероховатость поверхности
Аннотация: Изучается поведение шероховатости поверхностей многослойной структуры Cr/Sc, кристаллического кремния [100] и плавленого кварца при ионно-пучковом травлении в области средних и высоких частот пространственного спектра (10{-2} - 10{2} мкм{-1}). Показана возможность сохранения шероховатости поверхности на уровне сигма ~ 0. 3 нм при травлении атомами/ионами Ar на глубину до 10 мкм.

Доп.точки доступа:
Барышева, М. М.; Вайнер, Ю. А.; Грибков, Б. А.; Зорина, М. В.; Пестов, А. Е.; Салащенко, Н. Н.; Храмков, Р. А.; Чхало, Н. И.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Применение ионно-пучкового травления для "сглаживания" поверхности плавленого кварца [Текст] / Ю. А. Вайнер [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2014. - Т. 78, № 1. - С. 90-94. - Библиогр.: c. 94 (7 назв. ) . - ISSN 0367-6765

УДК

^a538.971: 535.016

ББК 22.3
Рубрики: Физика
Общие вопросы физики
Кл.слова (ненормированные):
глубокая шлифовка-полировка -- ионно-пучковое травление -- мягкое рентгеновское излучение -- плавленый кварц -- сглаживание шероховатостей -- шероховатости -- экстремальное ультрафиолетовое излучение
Аннотация: Приведены результаты исследований шероховатости подложек из плавленого кварца, кремния и сапфира от разных производителей. Обсуждается специфика подложек для изображающей оптики, предназначенной для работы в диапазонах мягкого рентгеновского (МР) и экстремального ультрафиолетового излучения (ЭУФ). Приведены первые результаты по сглаживанию шероховатостей, полученные при травлении кварцевых подложек нейтрализованными пучками аргона с энергией 50-500 эВ. Продемонстрировано сглаживание шероховатости поверхности в диапазоне пространственных частот 10{-1} - 10{2} мкм{-1}.

Доп.точки доступа:
Вайнер, Ю. А.; Зорина, М. В.; Пестов, А. Е.; Салащенко, Н. Н.; Чхало, Н. И.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 17.08.2024
Число запросов	134415
Число посетителей	1
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)