Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска
БД "Книги"
БД "Статьи"
Труды АМГУ
Выпускные квалификационные работы
Антитеррор
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=ионно-активированное напыление<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Никитин, М. М.
    Магнетронное распыление: эволюция схем напыления и ионизация потоков, взаимодействующих с подложкой [Текст] / М. М. Никитин // Физика и химия обработки материалов. - 2011. - N 2. - С. 27-36.
УДК
^a621.77.016
ББК 34.51/59
Рубрики: Машиностроение
   Обработка металлов
Кл.слова (ненормированные):
магнетронное распыление -- ионно-активированное напыление -- плазменные потоки -- подложки -- металлические пленки -- композиционные пленки
Аннотация: Рассмотрено развитие методики ионно-активированного напыления с использованием магнетронных источников распыления с целью расширения плазменного потока в направлении подложки и повышения соотношения ион-атом. Обсуждены возможности использования магнитных полей для формирования плазменных потоков. Показано, что установки с системой магнетронов, работающих в схеме замкнутого магнитного поля, позволяют реализовывать высокопроизводительный процесс получения качественных металлических и композиционных пленок.


Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 10.09.2024
Число запросов 35463
Число посетителей 1
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)