Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска
БД "Книги"
БД "Статьи"
Труды АМГУ
Выпускные квалификационные работы
Антитеррор
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=быстрые молекулы<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


   
    Осаждение металлических и нитридных покрытий на изделиях сложной геометрической формы [Текст] / С. Н. Григорьев [и др.] // Упрочняющие технологии и покрытия. - 2012. - № 12. - С. 44-48 : 4 рис. - Библиогр.: с. 48 (16 назв. ) . - ISSN 1813-1336
УДК
^a539.2
ББК 22.37
Рубрики: Физика--Россия
   Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Кл.слова (ненормированные):
распыление -- покрытия -- осаждение -- нитридные покрытия -- ионно-плазменная обработка -- быстрые молекулы
Аннотация: Показано, что для осаждения покрытий на диэлектрики используется источник атомов металла в смеси с быстрыми молекулами газа, образованными при перезарядке ускоренных ионов в рабочей камере. Атомы металла образуются при распылении ионами мишени на дне полого катода внутри источника.


Доп.точки доступа:
Григорьев, С. Н.; Волосова, М. А.; Метель, А. С.; Мельник, Ю. А.; Болбуков, В. П.
Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден)

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 10.09.2024
Число запросов 48288
Число посетителей 1
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)