Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска
БД "Книги"
БД "Статьи"
Труды АМГУ
Выпускные квалификационные работы
Антитеррор
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=алмазоподобные пленки углерода<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Мартенс, В. Я.
    Синтез алмазоподобных пленок углерода с помощью ионного источника на основе отражательного разряда с полым катодом [Текст] / В. Я. Мартенс, В. А. Тарала, Е. Ф. Шевченко // Перспективные материалы. - 2011. - № 3. - С. 40-45 : 5 рис. - Библиогр.: с. 45 (10 назв. ) . - ISSN 1028-978Х
УДК
^a533.9
ББК 22.333
Рубрики: Физика
   Электронные и ионные явления. Физика плазмы
Кл.слова (ненормированные):
алмазоподобные пленки углерода -- плазма -- газовый разряд -- осаждение пленок -- ионный источник -- исследование пленок
Аннотация: Проведено осаждение тонких алмазоподобных пленок на подложку из кремния с помощью ионного источника на основе отражательного разряда с холодным полым катодом. Осаждение проводили при различных условиях: варьировали давление (12 – 50 мПа) и состав (С3Н8, СН4, Н2) плазмообразующего газа, напряжение ускоряющего промежутка в диапазоне 0, 5 – 5 кВ, температура подложки в диапазоне 20 – 850 °С. Синтезированные пленки исследовали методами инфракрасной (ИК) спектроскопии, спектроскопии комбинационного рассеяния света (КРС) и склерометрии.


Доп.точки доступа:
Тарала, В. А.; Шевченко, Е. Ф.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 05.08.2024
Число запросов 860
Число посетителей 1
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)