Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=свободно висящие фильтры<.>)
Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2
1.


   
    Термически стойкие многослойные фильтры на основе молибдена для экстремального УФ-диапазона [Текст] / М. Н. Дроздов [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 1. - С. 77-79. . - Библиогр.: с. 79 (3 назв. )
УДК
ББК 34.64
Рубрики: Машиностроение
   Соединения деталей машин

Кл.слова (ненормированные):
вторично-ионная масс-спектрометрия -- многослойные структуры -- молибден -- оптические системы -- свободно висящие фильтры -- термически стойкие фильтры -- фильтры
Аннотация: Предложены новые многослойные структуры на основе молибдена и изготовлены образцы свободновисящих фильтров диаметром 160 мм с прозрачностью 71% на длине волны лямбда=13. 5 нм.


Доп.точки доступа:
Дроздов, М. Н.; Клюенков, Е. Б.; Лопатин, А. Я.; Лучин, В. И.; Пестов, А. Е.; Салащенко, Н. Н.; Цыбин, Н. Н.; Чхало, Н. И.; Шмаенок, Л. А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

2.


   
    Сравнительное тестирование свободно висящих многослойных фильтров Mo/ZrSi[2] и Mo/NbSi[2] по термостабильности [Текст] / М. Н. Дроздов [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2013. - Т. 77, № 1. - С. 94-96. - Библиогр.: с. 96 (5 назв. ) . - ISSN 0367-6765
УДК
ББК 24.5
Рубрики: Химия
   Физическая химия в целом

Кл.слова (ненормированные):
вторично-ионная масс-спектрометрия -- многослойные фильтры -- свободно висящие фильтры -- термическая стабильность -- термически стойкие фильтры -- тонкопленочные фильтры -- ЭУФ-нанолитографы
Аннотация: Изучена термическая стабильность многослойных тонкопленочных фильтров Mo/ZrSi[2] и Mo/NbSi[2] в температурном интервале 840-940°C при долговременном нагреве в вакууме. До и после лазерного или токового отжига измерялось пропускание фильтра и проводился послойный ВИМС-анализ структуры. Сравнительное тестирование показало, что структура Mo/NbSi[2] менее термостабильна при высоких тепловых нагрузках.


Доп.точки доступа:
Дроздов, М. Н.; Клюенков, Е. Б.; Лопатин, А. Я.; Лучин, В. И.; Пестов, А. Е.; Салащенко, Н. Н.; Цыбин, Н. Н.; Чхало, Н. И.; Шмаенок, Л. А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

 
Статистика
за 02.09.2024
Число запросов 71894
Число посетителей 1
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)