Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска
БД "Книги"
БД "Статьи"
Труды АМГУ
Выпускные квалификационные работы
Антитеррор
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=ионное вбивание<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


   
    Послойный анализ наноразмерных структур методом ВИМС: функция разрешения по глубине [Текст] / Ю. Кудрявцев [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2008. - Т. 72, N 7. - С. 947-950. . - Библиогр.: c. 950 (11 назв. )
УДК
^a533.537
ББК 22.3
Рубрики: Физика
   Общие вопросы физики
Кл.слова (ненормированные):
вторично-ионная масс-спектрометрия -- наноразмерные структуры -- функция разрешения по глубине -- ионное облучение -- поверхности -- ионное вбивание -- моделирование -- шероховатость -- ионное перемешивание
Аннотация: В работе рассмотрена новая модель функции разрешения по глубине для метода вторично-ионной масс-спектрометрии, рассматривающая процессы ионного вбивания и перемешивания и формирования рельефа на поверхности в процессе ионного облучения.


Доп.точки доступа:
Кудрявцев, Ю.; Гаярдо, С.; Вьегас, А.; Рамирес, Г.; Асомоза, Р.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 02.09.2024
Число запросов 68480
Число посетителей 1
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)