Библиотека Амурского Государственного Университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Шлюз Z39.50

Базы данных

БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска

БД "Книги"

БД "Статьи"

Труды АМГУ

Выпускные квалификационные работы

Антитеррор

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=вторично-ионная масс-спектрометрия<.>)

Общее количество найденных документов : 14
Показаны документы с 1 по 14

Послойный анализ наноразмерных структур методом ВИМС: функция разрешения по глубине [Текст] / Ю. Кудрявцев [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2008. - Т. 72, N 7. - С. 947-950. . - Библиогр.: c. 950 (11 назв. )

УДК

^a533.537

ББК 22.3
Рубрики: Физика
Общие вопросы физики
Кл.слова (ненормированные):
вторично-ионная масс-спектрометрия -- наноразмерные структуры -- функция разрешения по глубине -- ионное облучение -- поверхности -- ионное вбивание -- моделирование -- шероховатость -- ионное перемешивание
Аннотация: В работе рассмотрена новая модель функции разрешения по глубине для метода вторично-ионной масс-спектрометрии, рассматривающая процессы ионного вбивания и перемешивания и формирования рельефа на поверхности в процессе ионного облучения.

Доп.точки доступа:
Кудрявцев, Ю.; Гаярдо, С.; Вьегас, А.; Рамирес, Г.; Асомоза, Р.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Морозов, С. Н.
Вторичная ионная эмиссия при бомбардировке висмута кластерными ионами Bi{-}[m] и Au{-}[m] [Текст] / С. Н. Морозов, У. Х. Расулев // Известия РАН. Серия физическая. - 2008. - Т. 72, N 7. - С. 954-957. . - Библиогр.: c. 957 (18 назв. )

УДК

^a532.533

ББК 22.253
Рубрики: Механика
Гидромеханика и аэромеханика
Кл.слова (ненормированные):
вторичная ионная эмиссия -- кластерные ионы -- висмут -- вторично-ионная масс-спектрометрия -- кинетические энергии -- тепловые пики -- нелинейные каскады -- экспериментальные исследования -- поверхности
Аннотация: Исследованы масс-спектры вторичных кластерных ионов Bi{+}[n] (n=1-9) при распылении висмута кластерными ионами Au{-}[m] (m=1-9) и Bi{-}[m] (m=1-5) в диапазоне кинетических энергий бомбардирующих ионов 6-21 кэВ.

Доп.точки доступа:
Расулев, У. Х.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Исследование процессов в буферных растворах биоорганических систем методом ВИМС [Текст] / В. Н. Мельников [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2008. - Т. 72, N 7. - С. 983-987. . - Библиогр.: c. 987 (15 назв. )

УДК

^a537.534.8:577.15

ББК 22.338
Рубрики: Физика
Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях
Кл.слова (ненормированные):
глюкоза -- вторично-ионная масс-спектрометрия -- биоорганические системы -- буферные растворы -- ферментативного окисление -- гидролиз -- глюконовая кислота -- биосенсоры -- глицерин -- экспериментальные данные
Аннотация: Работа посвящена применению метода ВИМС с использованием жидкой матрицы для исследования процессов ферментативного окисления глюкозы в системе, моделирующей биосенсор на глюкозу.

Доп.точки доступа:
Мельников, В. Н.; Литвинов, В. А.; Коппе, В. Т.; Бобков, В. В.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Количественный безэталонный анализ концентрации изотопов {28, 29, 30}Si в кремнии методом ВИМС на установке TOF. SIMS-5 [Текст] / М. Н. Дроздов [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2010. - Т. 74, N 1. - С. 84-86 : Рис. - Библиогр.: c. 86 (5 назв. ) . - ISSN 0367-6765

УДК

^a543.51:546.28

ББК 24.4
Рубрики: Химия
Аналитическая химия в целом
Кл.слова (ненормированные):
вторично-ионная масс-спектрометрия -- изотопы {28, 29, 30}Si -- количественный безэталонный анализ -- концентрация изотопов -- кремний -- метод ВИМС -- плазмохимическое осаждение -- установка TOF. SIMS-5
Аннотация: Показана возможность количественного безэталонного определения содержания изотопов {28-30}Si в образцах кремния методом ВИМС на установке TOF. SIMS-5.

Доп.точки доступа:
Дроздов, М. Н.; Дроздов, Ю. Н.; Пряхин, Д. А.; Шашкин, В. И.; Сенников, П. Г.; Поль, П. Г.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Термически стойкие многослойные фильтры на основе молибдена для экстремального УФ-диапазона [Текст] / М. Н. Дроздов [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 1. - С. 77-79. . - Библиогр.: с. 79 (3 назв. )

УДК

^a621.793.182

ББК 34.64
Рубрики: Машиностроение
Соединения деталей машин
Кл.слова (ненормированные):
вторично-ионная масс-спектрометрия -- многослойные структуры -- молибден -- оптические системы -- свободно висящие фильтры -- термически стойкие фильтры -- фильтры
Аннотация: Предложены новые многослойные структуры на основе молибдена и изготовлены образцы свободновисящих фильтров диаметром 160 мм с прозрачностью 71% на длине волны лямбда=13. 5 нм.

Доп.точки доступа:
Дроздов, М. Н.; Клюенков, Е. Б.; Лопатин, А. Я.; Лучин, В. И.; Пестов, А. Е.; Салащенко, Н. Н.; Цыбин, Н. Н.; Чхало, Н. И.; Шмаенок, Л. А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Эволюция распределения элементов в свободно висящих структурах Zr/ZrSi[2] с защитными слоями MoSi[2] и ZrSu[2] при отжиге [Текст] / М. Н. Дроздов [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 1. - С. 80-83. . - Библиогр.: с. 83 (3 назв. )

УДК

^a621.793.182

ББК 34.64
Рубрики: Машиностроение
Соединения деталей машин
Кл.слова (ненормированные):
вторично-ионная масс-спектрометрия -- магнетронное напыление -- многослойные структуры -- проекционная ЭУФ-литография -- свободно висящие структуры -- фильтры -- экстремальное ультрафиолетовое излучение
Аннотация: Методом вторично-ионной масс-спектрометрии (ВИМС) проведен анализ распределения элементов по глубине в отожженных образцах многослойных ЭУФ-фильтров Zr/ZrSi[2] с защитными слоями MoSi[2] и ZrSu[2].

Доп.точки доступа:
Дроздов, М. Н.; Дроздов, Ю. Н.; Клюенков, Е. Б.; Лопатин, А. Я.; Лучин, В. И.; Салащенко, Н. Н.; Цыбин, Н. Н.; Шмаенок, Л. А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Послойный анализ многослойных металлических структур Pd/B[4]C, Ni/C, Cr/Sc методом ВИМС с использованием кластерных вторичных ионов: проблема повышения разрешения по глубине [Текст] / М. Н. Дроздов [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 1. - С. 106-110. . - Библиогр.: с. 110 (8 назв. )

УДК

^a539.216.2:543.51

ББК 22.37
Рубрики: Физика
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Кл.слова (ненормированные):
вторично-ионная масс-спектрометрия -- интерференционные микроскопы -- матричные эффекты -- металлические пленки -- многослойные структуры -- электронная оже-спектроскопия -- элементный состав
Аннотация: Исследуется возможность минимизации матричных эффектов при послойном анализе многослойных металлических структур методом ВИМС, основанная на использовании кластерных вторичных ионов, включающих комбинацию анализируемого элемента и распыляющих ионов цезия либо кислорода.

Доп.точки доступа:
Дроздов, М. Н.; Дроздов, Ю. Н.; Барышева, М. М.; Полковников, В. Н.; Чхало, Н. И.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Количественный анализ элементного состава и концентрации электронов в гетероструктурах AlGaN/GaN с двумерным электронным каналом методами ВИМС и C-V-профилирования [Текст] / М. Н. Дроздов [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2012. - Т. 76, № 2. - С. 250-254. - Библиогр.: с. 254 (11 назв. ) . - ISSN 0367-6765

УДК

^a539.23:541.51

ББК 22.37
Рубрики: Физика
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Кл.слова (ненормированные):
C-V-профилирование -- вторично-ионная масс-спектрометрия -- гетероструктуры AlGaN/GaN -- двумерные электронные каналы -- дельта-легированные гетероструктуры -- металлоорганическая газофазная эпитаксия -- элементный состав
Аннотация: Проведено исследование элементного состава и концентрации электронов в серии дельта-легированных гетероструктур. Проведено исследование элементного состава и концентрации электронов в серии дельта-легированных гетероструктур Al[X]Ga[1-X]N/GaN с двумерным электронным каналом. Сочетанием методов ВИМС и C-V-профилирования показано разделение электронного канала и легирующей примеси Si. с двумерным электронным каналом. Сочетанием методов ВИМС и C-V-профилирования показано разделение электронного канала и легирующей примеси Si.

Доп.точки доступа:
Дроздов, М. Н.; Востоков, Н. В.; Данильцев, В. М.; Демидов, Е. В.; Дроздов, Ю. Н.; Хрыкин, О. И.; Шашкин, В. И.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Исследования энергий диссоциации кластеров оксидов ниобия и ванадия, синтезированных ионным распылением [Текст] / С. Е. Максимов [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2012. - Т. 76, № 5. - С. 593-597. - Библиогр.: c. 597 (15 назв. ) . - ISSN 0367-6765

УДК

^a537.534.9

ББК 22.338
Рубрики: Физика
Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях
Кл.слова (ненормированные):
вторично-ионная масс-спектрометрия -- каналы фрагментации -- кинетические энергии распада -- метод столкновительно-индуциронной диссоциации -- модель испарительного ансамбля -- поверхности металлов -- Райса-Рамспергера-Касселя теория мономолекулярных реакций -- теория мономолекулярных реакций Райса-Рамспергера-Касселя
Аннотация: Представлены исследования методом вторично-ионной масс-спектрометрии (ВИМС) масс-распределений и каналов фрагментации кластеров Nb[n]O{+}[m] и V[n]O{+}[m], распыленных с поверхности металлов ионами Xe{+} при давлении O[2] в камере бомбардировки P = 4-5 х 10{-3} Па. Для наиболее вероятных каналов фрагментации кластеров Nb[n]O{+}[m] и V[n]O{+}[m] измерены спектры кинетических энергий распада, на основе которых определены энергии активации распада (диссоциации) кластеров Nb[n]O{+}[m] и V[n]O{+}[m] в рамках модели “испарительного ансамбля” и теории мономолекулярных реакций. Результаты показали близость численных значений энергий диссоциации, полученных при помощи обеих моделей.

Доп.точки доступа:
Максимов, С. Е.; Коваленко, С. Ф.; Тукватуллин, О. Ф.; Хожиев, Ш. Т.; Джемилев, Н. Х.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

10.

Литвинов, В. А.
Исследование взаимодействия водорода с поверхностью геттерного сплава на основе циркония методом ВИМС [Текст] / В. А. Литвинов, В. Т. Коппе, В. В. Бобков // Известия РАН. Серия физическая. - 2012. - Т. 76, № 5. - С. 620-625. - Библиогр.: c. 624-625 (26 назв. ) . - ISSN 0367-6765

УДК

^a537.534.8:621.528.5

ББК 22.338
Рубрики: Физика
Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях
Кл.слова (ненормированные):
водород -- вторично-ионная масс-спектрометрия -- геттерные сплавы -- гидрирование -- интерметаллические сплавы -- поверхности -- температурная зависимость -- цирконий
Аннотация: Представлены результаты исследования методом вторичной ионной масс-спектрометрии поверхности геттерного интерметаллического сплава Zr[50]V[50] при остаточном и повышенных парциальных давлениях водорода и при различных температурах.

Доп.точки доступа:
Коппе, В. Т.; Бобков, В. В.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

11.

Пустовит, А. Н.
Прецизионное профилирование по глубине структур наноэлектроники с использованием вторичных молекулярных ионов в методе ВИМС [Текст] / А. Н. Пустовит, А. Ф. Вяткин // Известия РАН. Серия физическая. - 2012. - Т. 76, № 9. - С. 1095-1098. - Библиогр.: с. 1098 (8 назв. ) . - ISSN 0367-6765

УДК

^a537.534

^a620.186

ББК 22.338 + 30.3
Рубрики: Физика
   Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях
   Техника
   Материаловедение
Кл.слова (ненормированные):
ванн-дер-ваальсовое межатомное взаимодействие -- вторично-ионная масс-спектрометрия -- вторичные молекулярные ионы -- наноэлектроника -- прецизионное профилирование -- разрешающая способность -- эффект стенок кратера
Аннотация: Предложен способ улучшения профилирования по глубине метода вторично-ионной масс-спектрометрии (ВИМС) с помощью регистрации вторичных молекулярных ионов. Исследования нанометровых структур SiGe и AlGaAs, а также Si, легированного ионами бора с энергией 5 кэВ, показали увеличение разрешения по глубине метода ВИМС при регистрации вторичных молекулярных ионов. Обсуждается физическая модель, согласно которой, определяющим разрешение параметром является энергия диссоциации молекулярных ионов.

Доп.точки доступа:
Вяткин, А. Ф.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

12.

Чернявский, А. В.
Измерение диффузионных профилей в ионных кристаллах методом масс-спектрометрии вторичных ионов [Текст] / А. В. Чернявский // Контроль. Диагностика. - 2012. - № 11. - С. 72-74. - Библиогр.: с. 74 (11 назв. ) . - ISSN 0201-7032

УДК

^a543.4/.5

ББК 24.46/48
Рубрики: Химия
Физико-химические методы анализа
Кл.слова (ненормированные):
диффузионные профили -- измерение диффузионных профилей -- ионные кристаллы -- масс-спектрометрия вторичных ионов -- вторично-ионная масс-спектрометрия -- высокотемпературная диффузия -- диффузия примесей -- примесные ионы -- диффузионный отжиг
Аннотация: Приведены результаты исследований высокотемпературной диффузии примесей из пленки в приповерхностных слоях ионных кристаллов. Распределение примесей по глубине после диффузионного отжига кристаллов исследовано методом вторичной ионной масс-спектрометрии.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

13.

Сравнительное тестирование свободно висящих многослойных фильтров Mo/ZrSi[2] и Mo/NbSi[2] по термостабильности [Текст] / М. Н. Дроздов [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2013. - Т. 77, № 1. - С. 94-96. - Библиогр.: с. 96 (5 назв. ) . - ISSN 0367-6765

УДК

^a544.032

ББК 24.5
Рубрики: Химия
Физическая химия в целом
Кл.слова (ненормированные):
вторично-ионная масс-спектрометрия -- многослойные фильтры -- свободно висящие фильтры -- термическая стабильность -- термически стойкие фильтры -- тонкопленочные фильтры -- ЭУФ-нанолитографы
Аннотация: Изучена термическая стабильность многослойных тонкопленочных фильтров Mo/ZrSi[2] и Mo/NbSi[2] в температурном интервале 840-940°C при долговременном нагреве в вакууме. До и после лазерного или токового отжига измерялось пропускание фильтра и проводился послойный ВИМС-анализ структуры. Сравнительное тестирование показало, что структура Mo/NbSi[2] менее термостабильна при высоких тепловых нагрузках.

Доп.точки доступа:
Дроздов, М. Н.; Клюенков, Е. Б.; Лопатин, А. Я.; Лучин, В. И.; Пестов, А. Е.; Салащенко, Н. Н.; Цыбин, Н. Н.; Чхало, Н. И.; Шмаенок, Л. А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

14.

Исследование пленок ZnS[x]Se[(1-x)] различного состава методом EXAFS-спектроскопии [Текст] / А. Н. Бельтюков [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2013. - Т. 77, № 9. - С. 1299-1302. - Библиогр.: c. 1302 (8 назв. ) . - ISSN 0367-6765

УДК

^a549.31

^a539.23

^a539.26

ББК 26.303 + 22.365 + 22.361
Рубрики: Геология
   Минералогия
   Физика
   Газы и жидкости
   Экспериментальные методы и аппаратура молекулярной физики
Кл.слова (ненормированные):
EXAFS-спектроскопия -- вторично-ионная масс-спектрометрия -- пленки -- рентгеновская дифракция -- селенид цинка -- сульфид цинка -- термическое распыление
Аннотация: Методом термического распыления смеси порошков сульфида и селенида цинка в сверхвысоком вакууме получены пленки ZnS[x]Se[ (1-x) ] различного состава (x = 0. 36, 0. 68, 0. 73). Показано, что полученные пленки близки по химическому составу к исходным материалам. Методом рентгеновской дифракции исследована кристаллическая структура пленок. Методом EXAFS-спектроскопии исследовано локальное атомное окружение атомов селена и цинка.

Доп.точки доступа:
Бельтюков, А. Н.; Валеев, Р. Г.; Романов, Э. А.; Кривенцов, В. В.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 06.07.2024
Число запросов	56954
Число посетителей	1
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)