Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска
БД "Книги"
БД "Статьи"
Труды АМГУ
Выпускные квалификационные работы
Антитеррор
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Шоттки катод<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Потапкин, О. Д.
    Литография с гауссовым распределением плотности тока в зонде для нанотехнологий [Текст] / О. Д. Потапкин // Известия РАН. Серия физическая. - 2012. - Т. 76, № 9. - С. 1103-1106. - Библиогр.: c. 1106 (16 назв. ) . - ISSN 0367-6765
УДК
^a537.533
ББК 22.338
Рубрики: Физика
   Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях
Кл.слова (ненормированные):
гауссово распределение плотности тока -- катод Шоттки -- магнитные линзы -- модель трехэлектродной пушки -- разрешающая способность -- стохастическое взаимодействие -- хроматическая аберрация -- Шоттки катод -- электронно-лучевая литография
Аннотация: Исследованы параметры системы электронно-лучевой литографии с гауссовым распределением плотности тока, дан анализ зависимости разрешающей способности от увеличения и соотношения потенциалов на анодах. Использовалась модель трехэлектродной пушки с катодом ZrO/W. В процессе оптимизации учитывался вклад аберрации стохастического взаимодействия. Показано, что даже с пушкой простейшей геометрии достижимо разрешение 10 нм.


Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 18.08.2024
Число запросов 89317
Число посетителей 1
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)