Библиотека Амурского Государственного Университета

Главная

Упрощенный режим

Описание

Шлюз Z39.50

Базы данных

БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска

БД "Книги"

БД "Статьи"

Труды АМГУ

Выпускные квалификационные работы

Антитеррор

Область поиска

в найденном

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>A=Салащенко, Н. Н.$<.>)

Общее количество найденных документов : 33
Показаны документы с 1 по 10

1-10 11-20 21-30 31-33

Кошелев, К. Н.
Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии [Текст] / К. Н. Кошелев, В. Е. Банин, Н. Н. Салащенко // Успехи физических наук. - 2007. - Т. 177, N 7. - С. 777-780. - Библиогр.: с. 780 (6 назв. ). - ил.: 6 рис.

УДК

ББК 22.34
Рубрики: Физика
Кл.слова (ненормированные):
сессии -- литография -- излучения -- коротковолновые излучения -- источники излучения -- плазма -- литографические аппараты
Аннотация: Описаны подходы к решению двух проблем - увеличения мощности излучения (тепловой нагрузки) и повышения стабильности дозы излучения. Последняя проблема связана с физикой источника излучения, так как возникает в результате корпускулярных потоков (атомы, ионы, капли материала электродов) из области разряда.

Доп.точки доступа:
Банин, В. Е.; Салащенко, Н. Н.
Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден)

Найти похожие

Коррекция формы оптических поверхностей с субнанометровой точностью. Проблемы, статус, перспективы [Текст] / Е. Б. Клюенков [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2008. - Т. 72, N 2. - С. 205-208. - Библиогр.: c. 208 (13 назв. )

УДК

^a681.787

^a624.793.164

ББК 22.341 + 30
Рубрики: Физика
   Экспериментальные методы и аппаратура оптики
   Техника
   Общие вопросы техники
Кл.слова (ненормированные):
оптические поверхности -- проекционные литографические установки -- прецизионный интерферометр -- сферические волны -- исследовательские работы -- прецизионная коррекция -- зеркала
Аннотация: Сообщается о статусе работ в ИФМ РАН в области прецизионной коррекции формы зеркал для объективов проекционных литографических установок с рабочей дляной волны 13. 5 нм.

Доп.точки доступа:
Клюенков, Е. Б.; Полковников, В. Н.; Салащенко, Н. Н.; Чхало, Н. И.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Пестов, А. Е.
Моделирование интенсивности излучения рентгеновских трубок в мягком рентгеновском и экстремальном ультрафиолетовом диапазоне [Текст] / А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало // Известия РАН. Серия физическая. - 2008. - Т. 72, N 2. - С. 218-220. - Библиогр.: c. 220 (15 назв. )

УДК

^a537.531.2

^a52-739

ББК 22.33 + 22.6
Рубрики: Физика
   Электричество и магнетизм в целом
   Астрономия
   Астрономия в целом
Кл.слова (ненормированные):
рентгеновские трубки -- мягкий рентгеновский диапазон -- экстремальный ультрафиолетовый диапазон -- интенсивность излучения -- моделирование -- метод Монте-Карло -- Монте-Карло метод -- расчетные данные -- экспериментальные данные
Аннотация: Описана программа расчета интенсивности флуоресценции материала мишени рентгеновских трубок (РТ) при облучении электронами с энергией до 15 кэВ.

Доп.точки доступа:
Салащенко, Н. Н.; Чхало, Н. И.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Источник сферической волны на основе зонда ближнепольного микроскопа [Текст] / А. Ю. Климов [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2008. - Т. 72, N 2. - С. 221-223 : Рис. - Библиогр.: c. 223 (6 назв. )

УДК

^a681.787

^a624.793.164

ББК 22.341 + 30
Рубрики: Физика
   Экспериментальные методы и аппаратура оптики
   Техника
   Общие вопросы техники
Кл.слова (ненормированные):
источник сферической волны -- оптоволоконные зонды -- прецизионные интерферометры -- числовая апертура -- деформации волновых фронтов -- эксперименты -- интерферометры -- ближнепольные микроскопы
Аннотация: Сообщается о новом типе источника сферической волны для прецизионной интерфеометрии на основе оптоволоконного зонда для ближнепольного микроскопа.

Доп.точки доступа:
Климов, А. Ю.; Рогов, В. В.; Салащенко, Н. Н.; Чхало, Н. И.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Ахсахалян, А. А.
Многослойное рентгеновское зеркало в форме эллипсоида вращения [Текст] / А. А. Ахсахалян [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2007. - Т. 71, N 1. - С. 69-72. - Библиогр.: с. 72 (8 назв. ). - d, 2007, , 0

УДК

^a621.7

ББК 30.68
Рубрики: Техника
Кл.слова (ненормированные):
многослойные рентгеновские зеркала
Аннотация: На основе метода реплик разработана лабораторная технология изготовления многослойных зеркал в форме эллипсоида вращения для жесткого рентгеновского диапазона длин волн лямбда приблизительно равна 0. 1 нм.

Доп.точки доступа:
Ахсахалян, А. Д.; Клюенко, Е. Б.; Муравьев, В. А.; Салащенко, Н. Н.; Харитонов, А. И.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Салащенко, Н. Н. (чл.-кор. РАН).
Коротковолновая проекционная нанолитография [Текст] / Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало // Вестник Российской академии наук. - 2008. - Т. 78, N 5. - С. 450-457 : 6 рис. - Библиогр.: с. 456-457 (31 назв. )

УДК

^a655.34

ББК 37.83
Рубрики: Полиграфическая промышленность
Плоская печать
Кл.слова (ненормированные):
диапазоны коротковолновые -- диапазоны ультрафиолетовые -- коротковолновые диапазоны -- микроэлектронная промышленность -- нанолитография -- нанолитография проекционная -- области спектра -- проекционная нанолитография -- промышленность микроэлектронная -- спектры -- ультрафиолетовые диапазоны
Аннотация: На одном из заседаний Президиума РАН рассматривались проводимые в Институте физики микроструктур РАН работы по нанолитографии в ультракороткой области спектра, которым и посвящена публикуемая ниже статья. Результаты этих работ, по мнению участников заседания, можно реально использовать для возрождения отечественной микроэлектронной промышленности.

Доп.точки доступа:
Чхало, Н. И. (канд. физ.-матем. наук)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Награды и премии [Текст] : [премии вручены: им. П. А. Черенкова 2008 г. - А. П. Онучину; им. А. Г. Столетова 2008 г. - Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало] // Вестник Российской академии наук. - 2009. - Т. 79, N 1. - С. 94.

УДК

^a001

ББК 72
Рубрики: Наука. Науковедение
Общие вопросы науки--Россия, 2008 г.
Кл.слова (ненормированные):
академики -- доктора наук -- награды -- награждения -- премии -- ученые
Аннотация: Официальный отдел дает информацию о присуждении наград и премий академикам, докторам наук.

Доп.точки доступа:
Онучин, А. П.; Салащенко, Н. Н.; Чхало, Н. И.; Российская академия наук; РАН

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Клюенков, Е. Б.
Работы по созданию и аттестации рентгенооптических элементов и систем сверхвысокого разрешения в ИФМ РАН [Текст] / Е. Б. Клюенков, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало // Известия РАН. Серия физическая. - 2009. - Т. 73, N 1. - С. 66-70. : Рис. - Библиогр.: c. 70 (15 назв. )

УДК

^a681.787

^a624.793.164

ББК 22.341 + 39.11
Рубрики: Физика
   Экспериментальные методы и аппаратура оптики
   Транспорт
   Транспортные сооружения
Кл.слова (ненормированные):
интерферометрия -- светосильные оптические поверхности -- рентгенооптические элементы -- прецизионная метрология -- интерферометр с дифракционной волной сравнения -- интерферометры -- зеркальные объективы -- рентгенооптика
Аннотация: Сообщается о последних разработках, проводимых в ИФМ РАН в области метрологии и коррекции формы светосильных подложек для рентгенооптики формы поверхностей с субнаномерной точностью.

Доп.точки доступа:
Салащенко, Н. Н.; Чхало, Н. И.; ИФМ РАН; Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

Исследования в области создания фокусирующих многослойных рентгеновских зеркал [Текст] / А. А. Ахсахалян [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2010. - Т. 74, N 1. - С. 44-46. - Библиогр.: c. 46 (20 назв. ) . - ISSN 0367-6765

УДК

^a621.793.164

ББК 34.64
Рубрики: Машиностроение
Соединения деталей машин
Кл.слова (ненормированные):
зеркала -- зеркала в форме эллипсоида вращения -- зеркала цилиндрической формы -- Киркпатрика-Байеза скрещенные системы -- метод реплик -- многослойные фокусирующие зеркала -- плоскости изображения -- рентгеновские зеркала -- скрещенные системы Киркпатрика-Байеза -- уголковые отражатели -- фокусирующие свойства
Аннотация: В работе приводится обзор исследований и важнейших полученных результатов за последние пять лет в Институте физики микроструктур РАН в области создания фокусирующих многослойных зеркал для жесткого рентгеновского диапазона длин волн (лямбда=0. 05-0. 25 нм, Е=25-5 кэВ).

Доп.точки доступа:
Ахсахалян, А. А.; Ахсахалян, А. Д.; Вайнер, Ю. А.; Зорина, М. В.; Клюенков, Е. Б.; Муравьев, В. А.; Салащенко, Н. Н.; Харитонов, А. И.; Институт физики микроструктур РАН

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

10.

Многослойные тонкопленочные фильтры экстремального ультрафиолетового и мягкого рентгеновского диапазонов [Текст] / Б. А. Володин [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2010. - Т. 74, N 1. - С. 53-57 : Рис. - Библиогр.: c. 56-57 (11 назв. ) . - ISSN 0367-6765

УДК

^a621.793.182

ББК 34.64
Рубрики: Машиностроение
Соединения деталей машин
Кл.слова (ненормированные):
металлические пленки -- многослойные тонкопленочные фильтры -- мягкий рентгеновский диапазон -- оптические свойства -- проекционная ЭУФ-литография -- прозрачность -- тонкопленочные фильтры -- ультратонкие фильтры -- фильтры -- экстремальный ультрафиолетовый диапазон
Аннотация: Разработаны многослойные тонкопленочные фильтры из различных пар материалов, имеющие окна прозрачности в диапазоне длин волн лямбда < 60 нм.

Доп.точки доступа:
Володин, Б. А.; Гусев, С. А.; Дроздов, М. Н.; Зуев, С. Ю.; Клюенков, Е. Б.; Лопатин, А. Я.; Лучин, В. И.; Пестов, А. Е.; Салащенко, Н. Н.; Цыбин, Н. Н.; Чхало, Н. И.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

1-10 11-20 21-30 31-33

Тематический навигатор

Статистика за 28.07.2024
Число запросов	57696
Число посетителей	1
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)