Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска
БД "Книги"
БД "Статьи"
Труды АМГУ
Выпускные квалификационные работы
Антитеррор
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=скорость травления<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Данилина, Т. И.
    Электрофизические свойства диэлектрических пленок в МДМ-структурах [Текст] / Т. И. Данилина, П. Е. Троян // Известия вузов. Физика. - 2010. - Т. 53, N 4. - С. 8-11. . - Библиогр.: c. 11 (5 назв. )
УДК
^a537.311.33
ББК 22.379
Рубрики: Физика
   Физика полупроводников и диэлектриков
Кл.слова (ненормированные):
диэлектрические пленки -- пеннинговский разряд -- пленки алюминия -- скорость осаждения -- скорость травления -- электрические параметры
Аннотация: Методами реактивного катодного распыления в устройстве на основе низковольтного пеннинговского разряда получены диэлектрические пленки окиси и нитрида кремния, нитрида алюминия и другие. Изучены параметры пленок в МДМ-структурах, оптические свойства, пористость в зависимости от скорости осаждения, температуры подложки и давления реактивного газа. Наибольшую электрическую прочность имели пленки нитрида кремния, а наименьшие потери - пленки двуокиси кремния.


Доп.точки доступа:
Троян, П. Е.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 29.07.2024
Число запросов 178028
Число посетителей 1
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)