Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


БД "Статьи" - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=сканирующий дифференциальный гетеродинный микроскоп<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Баранов, Д. В.
    Поляризационный метод характеризации прямоугольных микроканавок по фазовым откликам дифференциального гетеродинного микроскопа [Текст] / Д. В. Баранов, Е. М. Золотов // Оптика и спектроскопия. - 2008. - Т. 105, N 3. - С. 496-501.
УДК
ББК 22.34 + 22.37
Рубрики: Физика
   Оптика в целом

   Физика твердого тела. Кристаллография в целом

Кл.слова (ненормированные):
сканирующий дифференциальный гетеродинный микроскоп -- микроскопы -- металлизированные субмикронные структуры -- субмикронные структуры -- прямоугольные микроканавки -- поляризация зондирующего излучения -- нанотехнологии
Аннотация: На основе алгоритма формирования отклика в сканирующем дифференциальном гетеродинном микроскопе с учетом строгой теории дифракции смоделированы фазовые и амплитудные отклики от прямоугольных микроканавок для двух основных состояний поляризации зондирующего излучения. На основе полученных откликов рассчитаны зависимости фазового контраста от глубины и ширины микрообъекта. Проанализированы возможности одновременной характеризации канавки по глубине и ширине. Для определения параметров в особых областях фазовых дислокаций и слабых сигналов предложено использовать зависимости фазового и амплитудного контрастов от глубины канавки, рассчитанные для откликов, регистрируемых вне центра фурье-плоскости микроскопа.


Доп.точки доступа:
Золотов, Е. М.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)

Найти похожие

 
Статистика
за 20.08.2024
Число запросов 64858
Число посетителей 1
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)